Mikroelektromechanisches systems (MEMS); Перспективы развития фундаментальных наук

Détails bibliographiques
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 705-707]
Auteur principal: Vtorushin S. E.
Autres auteurs: Nesterenko T. G. Tamara Georgievna (научный руководитель)
Résumé:Заглавие с экрана
Работа посвящена рассмотрению микроэлектромеханических систем. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) на сегодняшний день широко используются в тех областях науки и техники, где необходимо применение сверхмалых структур, где традиционные устройства неприменимы. МЭМС – технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы.
Langue:anglais
Publié: 2012
Collection:Технология
Sujets:
Accès en ligne:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/236.pdf
Format: Électronique Chapitre de livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=239234

Documents similaires