Mikroelektromechanisches systems (MEMS); Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 705-707]
Main Author:	Vtorushin S. E.
Other Authors:	Nesterenko T. G. Tamara Georgievna (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с экрана Работа посвящена рассмотрению микроэлектромеханических систем. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) на сегодняшний день широко используются в тех областях науки и техники, где необходимо применение сверхмалых структур, где традиционные устройства неприменимы. МЭМС – технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы.
Language:	English
Published:	2012
Series:	Технология
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ микроэлектромеханические системы датчики акселерометры гироскопы
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/236.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=239234

Internet