Mikroelektromechanisches systems (MEMS); Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 705-707] |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | |
| Shrnutí: | Заглавие с экрана Работа посвящена рассмотрению микроэлектромеханических систем. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) на сегодняшний день широко используются в тех областях науки и техники, где необходимо применение сверхмалых структур, где традиционные устройства неприменимы. МЭМС – технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы. |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
2012
|
| Edice: | Технология |
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/236.pdf |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=239234 |