Mikroelektromechanisches systems (MEMS); Перспективы развития фундаментальных наук

Podrobná bibliografie
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 705-707]
Hlavní autor: Vtorushin S. E.
Další autoři: Nesterenko T. G. Tamara Georgievna (научный руководитель)
Shrnutí:Заглавие с экрана
Работа посвящена рассмотрению микроэлектромеханических систем. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) на сегодняшний день широко используются в тех областях науки и техники, где необходимо применение сверхмалых структур, где традиционные устройства неприменимы. МЭМС – технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы.
Jazyk:angličtina
Vydáno: 2012
Edice:Технология
Témata:
On-line přístup:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/236.pdf
Médium: Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=239234