|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
239234 |
| 005 |
20251205163653.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\260448
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\260347
|
| 090 |
|
|
|a 239234
|
| 100 |
|
|
|a 20130605d2012 k y0engy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 200 |
1 |
|
|a Mikroelektromechanisches systems (MEMS)
|f S. E. Vtorushin
|d Микроэлектромеханические системы (МЭМС)
|g sci. adv. T. G. Nesterenko
|
| 203 |
|
|
|a Text
|c electronic
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(363 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Технология
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 707 (4 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a Работа посвящена рассмотрению микроэлектромеханических систем. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) на сегодняшний день широко используются в тех областях науки и техники, где необходимо применение сверхмалых структур, где традиционные устройства неприменимы. МЭМС – технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256864
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. П. Никитич ; А. М. Лидер ; Ю. Р. Цой ; М. Е. Семенов
|v [С. 705-707]
|d 2012
|
| 510 |
1 |
|
|a Микроэлектромеханические системы (МЭМС)
|z rus
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектромеханические системы
|
| 610 |
1 |
|
|a датчики
|
| 610 |
1 |
|
|a акселерометры
|
| 610 |
1 |
|
|a гироскопы
|
| 700 |
|
1 |
|a Vtorushin
|b S. E.
|
| 702 |
|
1 |
|a Nesterenko
|b T. G.
|c specialist in the field of mechanical engineering
|c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences
|f 1946-
|g Tamara Georgievna
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160221
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/236.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
