Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Линник С. А. Степан Андреевич
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Weitere Verfasser:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Томск, 2013
Schlagworte:	Алмазы синтетические электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ поликристаллические алмазные пленки свойства применение синтез аномальный тлеющий разряд плазма оптико-эмиссионная спектроскопия осаждение
Online-Zugang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2013/40.pdf
Format:	MixedMaterials Elektronisch Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=238522

Online