Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Линник С. А. Степан Андреевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Published:	Томск, 2013
Subjects:	электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ поликристаллические алмазные пленки свойства применение синтез аномальный тлеющий разряд плазма оптико-эмиссионная спектроскопия осаждение
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2013/40.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=238522

Internet