Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliografski detalji
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 257-259]
Glavni autor:	Ходыревская Ю. И.
Daljnji autori:	Романенко С. Е. Сергей Евгеньевич (научный руководитель)
Sažetak:	Заглавие с экрана This report is devoted to obtaining deep profiles in the crystal of silicon carbide. detail the sequence of different stages of the experiment. Also the influence of the parameters, in which the etching takes place, on various facets of the crystal was studied. In addition, the dependence of one of the main etching parameters, such as etching rate, on the pressure of the plasma was obtained.
Jezik:	ruski
Izdano:	2012
Serija:	Физика
Teme:	электронный ресурс труды учёных ТПУ структуры реактивные процессы ионно-плазменное травление
Online pristup:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/083.pdf
Format:	Elektronički Poglavlje knjige
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237494

Slični predmeti

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
od: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1983)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
od: Владимирова Л. Н.
Izdano: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
od: Данилин Б. С. Борис Степанович
Izdano: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
od: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Izdano: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Izdano: (Москва, Юрайт, 2016)

Ионно-плазменное напыление установка ионно-плазменного напыления; Актуальные проблемы современного машиностроения
od: Дрелих И. В.
Izdano: (2014)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
od: Овечкин В. И.
Izdano: (2009)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
od: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Izdano: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Izdano: (2011)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Izdano: (2003)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
od: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Izdano: (Москва, Высшая школа, 1987)

Влияние температуры ионно-плазменного воздействия на фазовый состав азотированных слоев в аустенитной нержавеющей стали; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Загибалова Е. А.
Izdano: (2021)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
od: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1982)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке; Современные техника и технологии; Т. 1
od: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Izdano: (2009)

Влияние размера зерна в аустенитной нержавеющей стали на структурнофазовые характеристики композиционных слоев, сформированных при ионно-плазменном воздействии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Москвина В. А.
Izdano: (2020)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Izdano: (2016)

Ионно-плазменное напыление биоактивных покрытий на материалы медицинских имплантантов; Электротехника, электромеханика и электротехнологии
od: Михайдаров В. А.
Izdano: (2005)

Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Izdano: (Москва, Изд-во МГУ, 2005)

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Izdano: (Новосибирск, Наука, 1988)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Izdano: (Москва, Учеба, 2007)

Ориентационная зависимость параметров поверхностного упрочненного слоя, сформированного в монокристаллах аустенитной нержавеющей стали при ионно-плазменном воздействии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Загибалова Е. А.
Izdano: (2022)

Ионно-плазменное наноструктурирование поверхностных слоев высокопрочных сталей и сплавов и нанесение наноструктурных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
od: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Izdano: (Томск, 2011)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
od: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Izdano: (Москва, Техносфера, 2010)

Модифицирование поверхности керамики карбида бора ионно-плазменным напылением плёнки титана облученной интенсивным электронным пучком; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
od: Жакипбекова А. С.
Izdano: (2016)

Способы металлографического травления: справочник: пер. с нем.
od: Беккерт М.
Izdano: (Москва, Металлургия, 1988)

Физическая электроника и интегральная технология: Сборник научных трудов
Izdano: (СПб., Изд-во СПбГЭТУ, 1994)

Увеличение адгезии TiN покрытия на твердосплавном инструменте, предварительно обработанном мощным ионным пучком; Физика и химия обработки материалов; № 6
od: Тарбоков В. А. Владислав Александрович
Izdano: (2003)

Влияние электрического потенциала смещения на свойства стали 40Х13 при ионно-плазменном азотировании в высокочастотном разряде; Современные проблемы машиностроения
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Izdano: (2021)

Вакуумный технологический комплекс "Спрут" плазменного магнетронно-дугового формирования поверхностных структур со сверхсвойствами; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Izdano: (2009)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Izdano: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Izdano: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Регенерация электролитов полирования и травления; Экология и промышленность России; № 2
od: Фёдорова Е. А.
Izdano: (2002)

Получение опытных образцов из нанодисперсных порошков методом искрового плазменного спекания; Современные проблемы машиностроения
od: Сяменчик Т. А.
Izdano: (2013)

Разработка комплексной технологии электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности материалов и изделий; Наноинженерия; № 4
Izdano: (2015)

Проблемы переработки отходов травления алюминийсодержащих сплавов; Безопасность жизнедеятельности; № 6
od: Гавриленков А. М.
Izdano: (2002)

Антифрикционные тонкоплёночные покрытия на основе дисульфида молибдена; Справочник. Инженерный журнал; № 3
od: Панфилов Ю. В.
Izdano: (2003)

Ионно-плазменная установка модифицирования поверхности материалов медицинского назначения; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Мельников Е. В.
Izdano: (2013)

Исследование свойств азотистых покрытий, полученных методом ионно-плазменного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 9-3
Izdano: (2014)

YAG:CE керамика изготовленная методом спарк-плазменного спекания: фотолюминесценция; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Джаныбеков Ч. Е.
Izdano: (2019)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
od: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Izdano: (Москва, Техносфера, 2018)