Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления

Bibliografski detalji
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. П. Никитич ; А. М. Лидер ; Ю. Р. Цой ; М. Е. Семенов. [С. 257-259].— , 2012
Glavni autor:	Ходыревская Ю. И.
Daljnji autori:	Романенко С. Е. Сергей Евгеньевич (727)
Sažetak:	Заглавие с экрана This report is devoted to obtaining deep profiles in the crystal of silicon carbide. detail the sequence of different stages of the experiment. Also the influence of the parameters, in which the etching takes place, on various facets of the crystal was studied. In addition, the dependence of one of the main etching parameters, such as etching rate, on the pressure of the plasma was obtained.
Izdano:	2012
Serija:	Физика
Teme:	электронный ресурс труды учёных ТПУ структуры реактивные процессы ионно-плазменное травление
Online pristup:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/083.pdf
Format:	Elektronički Poglavlje knjige
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237494

Slični predmeti

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
od: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1983)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
od: Владимирова Л. Н.
Izdano: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
od: Данилин Б. С. Борис Степанович
Izdano: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов
od: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Izdano: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Izdano: (Москва, Юрайт, 2016)

Т. 2: Технологические аспекты
Izdano: (2011)

Ионно-плазменное напыление установка ионно-плазменного напыления
od: Дрелих И. В.
Izdano: (2014)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения
od: Овечкин В. И.
Izdano: (2009)

Физико-химические процессы в технологии РЭА учебник для вузов
od: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Izdano: (Москва, Высшая школа, 1987)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Izdano: (2003)

Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
od: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Izdano: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
od: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1982)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке
od: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Izdano: (2009)

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников сборник научных трудов
Izdano: (Новосибирск, Наука, 1988)

Влияние температуры ионно-плазменного воздействия на фазовый состав азотированных слоев в аустенитной нержавеющей стали
od: Загибалова Е. А.
Izdano: (2021)

Ионно-плазменное напыление биоактивных покрытий на материалы медицинских имплантантов
od: Михайдаров В. А.
Izdano: (2005)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы лабораторный практикум
Izdano: (Москва, Учеба, 2007)

Влияние размера зерна в аустенитной нержавеющей стали на структурнофазовые характеристики композиционных слоев, сформированных при ионно-плазменном воздействии
od: Москвина В. А.
Izdano: (2020)

Ионно-плазменное наноструктурирование поверхностных слоев высокопрочных сталей и сплавов и нанесение наноструктурных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.07
od: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Izdano: (Томск, 2011)

Гиганский магнитный импеданс как метод исследования магнитных плёночных наноструктур
od: Волчков С. О.
Izdano: (2010)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий
od: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Izdano: (2016)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
od: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Izdano: (Москва, Техносфера, 2010)

Модифицирование поверхности керамики карбида бора ионно-плазменным напылением плёнки титана облученной интенсивным электронным пучком
od: Жакипбекова А. С.
Izdano: (2016)

Способы металлографического травления справочник: пер. с нем.
od: Беккерт М.
Izdano: (Москва, Металлургия, 1988)

Изучение модифицированной структуры полимеров методом травления кислородной плазмой
Izdano: (2011)

Увеличение адгезии TiN покрытия на твердосплавном инструменте, предварительно обработанном мощным ионным пучком
od: Тарбоков В. А. Владислав Александрович
Izdano: (2003)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Izdano: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Izdano: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Исследование свойств азотистых покрытий, полученных методом ионно-плазменного напыления
Izdano: (2014)

Регенерация электролитов полирования и травления
od: Фёдорова Е. А.
Izdano: (2002)

Влияние электрического потенциала смещения на свойства стали 40Х13 при ионно-плазменном азотировании в высокочастотном разряде
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Izdano: (2021)

Ориентационная зависимость параметров поверхностного упрочненного слоя, сформированного в монокристаллах аустенитной нержавеющей стали при ионно-плазменном воздействии
od: Загибалова Е. А.
Izdano: (2022)

Антифрикционные тонкоплёночные покрытия на основе дисульфида молибдена
od: Панфилов Ю. В.
Izdano: (2003)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
od: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2016)

Проблемы переработки отходов травления алюминийсодержащих сплавов
od: Гавриленков А. М.
Izdano: (2002)

Получение опытных образцов из нанодисперсных порошков методом искрового плазменного спекания
od: Сяменчик Т. А.
Izdano: (2013)

Технология травления и одновременной регенерации травильных растворов
od: Исмагулова А. Д.
Izdano: (2011)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Izdano: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Справочник по вакуумной технике и технологиям пер. с англ.
Izdano: (Москва, Техносфера, 2011)

Плазменного упрочнения чугунных валков на различных масштабных уровнях
od: Громов В. Е.
Izdano: (2017)