Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология

Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]/ Томский политехнический институт (ТПИ).— , 1944-1976 Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология.— 1976.— [С. 109-112]
Main Author:	Каплин А. А. Анатолий Александрович
Other Authors:	Покровская А. Н., Стромберг А. Г. Армин Генрихович
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi.
Language:	Russian
Published:	1976
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	Черно-белая версия для предварительного просмотра Цветная версия без потери качества
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237374

Similar Items

Исследования по разработке методик анализа макронавесок и пленок моноокиси германия на содержание кадмия, свинца, меди методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Каплин А. А. Анатолий Александрович
Published: (1976)

Теория разрешающей способности метода АПН. Симметричные пики; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Каплин А. А. Анатолий Александрович
Published: (1976)

Исследования по определению меди в теллуриде цинка методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Каплин А. А. Анатолий Александрович
Published: (1976)

Пути обезвоживания тонких суспензий и коллоидальных растворов; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Пищулин В. И.
Published: (1976)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Магнитооптика тонких пленок
by: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Published: (Москва, Наука, 1988)

Влияние температуры на обратимость анодных и катодных пиков в методе АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Карбаинов Ю. А. Юрий Александрович
Published: (1976)

Разработка технологии получения особо чистой 70%-ной плавиковой кислоты: отчет о НИР
Published: (Томск, 2001-2002)

Исследования по изучению фазового состояния и растворимости никеля в ртути методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Подкорытова Н. В.
Published: (1976)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Пробой тонких диэлектрических пленок
by: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Свойства тонких пленок на основе полимолочной кислоты после паровой стерилизации; Перспективные материалы; № 8
Published: (2019)

Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]
Published: (Изд-во Томского ун-та, 1976)

Т. 1; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Т. 2; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
by: Васичев Б. Н. Борис Никитович
Published: (Москва, Металлургия, 1977)

Коагуляция и динамика тонких пленок
by: Духин С. С. Станислав Самуилович
Published: (Киев, Наукова думка, 1986)

Формирование тонких пленок: учебное пособие
by: Кирсанова Т. С. Татьяна Сергеевна
Published: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)

Исследование и применение тонких пленок
by: Борисов А. Н. Андрей Н.
Published: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Анализ трехслойных пленок SnO2-ZnS :Mn-SiO2 методом инверсионной вольтамперометрии; Журнал аналитической химии; Т. 33, вып. 4
by: Каплин А. А. Анатолий Александрович
Published: (1978)

Электрохимические методы анализа микрообъектов, тонких пленок и покрытий; Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок
Published: (1977)

Теория устойчивости коллоидов и тонких пленок
by: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
Published: (Москва, Наука, 1986)

Химические методы получения тонких прозрачных пленок
by: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
Published: (Ленинград, Химия, 1971)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Концентрирование серной кислоты в аппарате дефлегмационного типа с прямым электрическим нагревом; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Пищулин В. П.
Published: (1976)

Электротермические процессы в производстве фтороводорода и плавиковой кислоты: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Зарипова Л. Ф. Людмила Федоровна
Published: (Северск, 1999)

Исследования по определению микроколичества олова и свинца в арсениде галлия; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Каплин А. А. Анатолий Александрович
Published: (1976)

Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2
by: Зайцев Н. А. Николай Алексеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1993)

Электроника слоев SiO 2 на кремнии
by: Барабан А. П. Александр Петрович
Published: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1988)

Форстерит 2MgO-SiO2
by: Хорошавин Л. Б. Лев Борисович
Published: (Москва, Теплотехник, 2004)

Регенерация кислых стоков; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
by: Пищулин В. И.
Published: (1976)

Технология тонких пленок: справочник; пер. с англ.
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы
by: Ткачук Б. В. Борис Васильевич
Published: (Москва, Химия, 1977)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
by: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1989)

Электротермические процессы в производстве фтороводорода и плавиковой кислоты: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Зарипова Л. Ф. Людмила Федоровна
Published: (Томск, [Б. и.], 1999)

Радиометрическая оценка степени соосаждения ряда микропримесей с сульфатом свинца; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 197 : Неорганическая химия
by: Химай Н. А.
Published: (1975)

Строение и свойства структур Si-Sio2-M
by: Вертопрахов В. Н. Владимир Никифорович
Published: (Новосибирск, Наука, 1981)

Состояние и перспективы развития производства фтористого водорода и плавиковой кислоты: обзор по данным литературы за 1962-1965 гг.
Published: (1966)

Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок: [сборник]
Published: (Москва, Наука, 1977)