Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология

Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]/ Томский политехнический институт (ТПИ).— , 1944-1976 Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология.— 1976.— [С. 109-112]
מחבר ראשי:	Каплин А. А. Анатолий Александрович
מחברים אחרים:	Покровская А. Н., Стромберг А. Г. Армин Генрихович
סיכום:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi.
שפה:	רוסית
יצא לאור:	1976
נושאים:	электронный ресурс труды учёных ТПУ
גישה מקוונת:	Черно-белая версия для предварительного просмотра Цветная версия без потери качества
פורמט:	אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237374

פריטים דומים

Исследования по разработке методик анализа макронавесок и пленок моноокиси германия на содержание кадмия, свинца, меди методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Каплин А. А. Анатолий Александрович
יצא לאור: (1976)

Теория разрешающей способности метода АПН. Симметричные пики; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Каплин А. А. Анатолий Александрович
יצא לאור: (1976)

Исследования по определению меди в теллуриде цинка методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Каплин А. А. Анатолий Александрович
יצא לאור: (1976)

Анализ трехслойных пленок SnO2-ZnS :Mn-SiO2 методом инверсионной вольтамперометрии; Журнал аналитической химии; Т. 33, вып. 4
מאת: Каплин А. А. Анатолий Александрович
יצא לאור: (1978)

Магнитооптика тонких пленок
מאת: Звездин А. К. Анатолий Константинович
יצא לאור: (Москва, Наука, 1988)

Микроструктурирование тонких пленок
יצא לאור: (Москва, Наука, 1991)

Пути обезвоживания тонких суспензий и коллоидальных растворов; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Пищулин В. И.
יצא לאור: (1976)

Влияние температуры на обратимость анодных и катодных пиков в методе АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Карбаинов Ю. А. Юрий Александрович
יצא לאור: (1976)

Технология тонких пленок: практикум
מאת: Никулин Д. М.
יצא לאור: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)

Пробой тонких диэлектрических пленок
מאת: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
יצא לאור: (Москва, Советское радио, 1977)

Вакуумное нанесение тонких пленок
מאת: Данилин Б. С. Борис Степанович
יצא לאור: (Москва, Энергия, 1967)

Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]
יצא לאור: (Изд-во Томского ун-та, 1976)

Свойства тонких пленок на основе полимолочной кислоты после паровой стерилизации; Перспективные материалы; № 8
יצא לאור: (2019)

Исследования по изучению фазового состояния и растворимости никеля в ртути методом АПН; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Подкорытова Н. В.
יצא לאור: (1976)

Разработка технологии получения особо чистой 70%-ной плавиковой кислоты: отчет о НИР
יצא לאור: (Томск, 2001-2002)

Коагуляция и динамика тонких пленок
מאת: Духин С. С. Станислав Самуилович
יצא לאור: (Киев, Наукова думка, 1986)

Формирование тонких пленок: учебное пособие
מאת: Кирсанова Т. С. Татьяна Сергеевна
יצא לאור: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)

Исследование и применение тонких пленок
מאת: Борисов А. Н. Андрей Н.
יצא לאור: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Т. 1; Технология тонких пленок
יצא לאור: (1977)

Т. 2; Технология тонких пленок
יצא לאור: (1977)

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
מאת: Васичев Б. Н. Борис Никитович
יצא לאור: (Москва, Металлургия, 1977)

Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2
מאת: Зайцев Н. А. Николай Алексеевич
יצא לאור: (Москва, Радио и связь, 1993)

Электроника слоев SiO 2 на кремнии
מאת: Барабан А. П. Александр Петрович
יצא לאור: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1988)

Форстерит 2MgO-SiO2
מאת: Хорошавин Л. Б. Лев Борисович
יצא לאור: (Москва, Теплотехник, 2004)

Исследования по определению микроколичества олова и свинца в арсениде галлия; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Каплин А. А. Анатолий Александрович
יצא לאור: (1976)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок Учебное пособие
מאת: Твердохлеб П.В. Петр Васильевич
יצא לאור: (Новосибирск, Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2019)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
מאת: Твердохлеб П. Е.
יצא לאור: (Новосибирск, НГТУ, 2019)

Концентрирование серной кислоты в аппарате дефлегмационного типа с прямым электрическим нагревом; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Пищулин В. П.
יצא לאור: (1976)

Свойства тонких пленок на основе полимолочной кислоты после паровой стерилизации; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
מאת: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
יצא לאור: (2019)

Регенерация кислых стоков; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]; Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология
מאת: Пищулин В. И.
יצא לאור: (1976)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
מאת: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
יצא לאור: (Москва, Техносфера, 2014)

Теория устойчивости коллоидов и тонких пленок
מאת: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
יצא לאור: (Москва, Наука, 1986)

Химические методы получения тонких прозрачных пленок
מאת: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
יצא לאור: (Ленинград, Химия, 1971)

Электрохимические методы анализа микрообъектов, тонких пленок и покрытий; Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок
יצא לאור: (1977)

Строение и свойства структур Si-Sio2-M
מאת: Вертопрахов В. Н. Владимир Никифорович
יצא לאור: (Новосибирск, Наука, 1981)

Разработка опытной установки получения безводного фтороводорода методом ректификации 70% плавиковой кислоты; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
מאת: Соловьёв В. С.
יצא לאור: (2021)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
מאת: Ершов А. В.
יצא לאור: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Анализ локальных участков тонких пленок на основные компоненты и ультрамикропримеси; Химия и химическая технология; Вып. 1
מאת: Каплин А. А. Анатолий Александрович
יצא לאור: (1973)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
מאת: Патрушева Т. Н.
יצא לאור: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы
מאת: Ткачук Б. В. Борис Васильевич
יצא לאור: (Москва, Химия, 1977)