Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН

Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]/ Томский политехнический институт (ТПИ).— , 1944-1976 Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология.— 1976.— [С. 109-112]
Main Author:	Каплин А. А. Анатолий Александрович
Other Authors:	Покровская А. Н., Стромберг А. Г. Армин Генрихович
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi.
Language:	Russian
Published:	1976
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	Черно-белая версия для предварительного просмотра Цветная версия без потери качества
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237374

Similar Items

Анализ трехслойных пленок SnO2-ZnS :Mn-SiO2 методом инверсионной вольтамперометрии
by: Каплин А. А. Анатолий Александрович
Published: (1978)

Форстерит 2MgO-SiO2
by: Хорошавин Л. Б. Лев Борисович
Published: (Москва, Теплотехник, 2004)

Two nanoscale self-assembling biomorphic systems: SiO2 nanorings and SiO2-carbonate crystals
Published: (2013)

Phenomenon of self-assembling SiO2 nanorings
Published: (2013)

Technological aspects of obtaining SiO2 nanoparticles
by: Kosmachev P. V. Pavel Vladimirovich
Published: (2017)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Магнитооптика тонких пленок
by: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Published: (Москва, Наука, 1988)

О некоторых особенностях зависимости конденсаторной фотоэдс от электрического поля в системе Si-SiO2
by: Зайдман С. А.
Published: (1975)

Synthis and Phisical And Chemical; Properties of SiO[2]-B[2]O[3] and SiO[2]-P[2]O[5] Thin Film Systems and Powders
Published: (2016)

Свойства пленок ZnO: Al, ZnO:Al-SiO2, полученных золь-гель-методом из пленкообразующих растворов
by: Кузнецова С. А. Светлана Анатольевна
Published: (2020)

Изучение тонких пленок GeO методом позитронной аннигиляции
by: Арефьев К. П. Константин Петрович
Published: (1974)

Формирование тонких пленок учебное пособие
by: Кирсанова Т. С. Татьяна Сергеевна
Published: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)

Structure and properties of nanoproducts of the system P2O5 - SiO2
Published: (2008)

Синтез углеродных нанотрубок из хлорбензолана CoO/SiO2 катализаторах
by: Чичкань А. С.
Published: (2012)

Сцинтиллирующие стёкла системы Li2-BAO-SiO2
by: Шамсутдинова М. Б.
Published: (2006)

Получение SiO2 из лейкоксеного концентрата фтораммонийным способом
by: Леонов Д. И.
Published: (2021)

Пробой тонких диэлектрических пленок
by: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Технология тонких пленок: практикум
by: Никулин Д. М.
Published: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)

О люкс-вольтовой характеристике конденсаторной фотоэдс в системе Si-SiO2
by: Зайдман С. А.
Published: (1975)

Исследования по разработке методик анализа макронавесок и пленок моноокиси германия на содержание кадмия, свинца, меди методом АПН
by: Каплин А. А. Анатолий Александрович
Published: (1976)

Разработка технологии получения особо чистой 70%-ной плавиковой кислоты отчет о НИР
Published: (Томск, 2001-2002)

Свойства тонких пленок на основе полимолочной кислоты после паровой стерилизации
Published: (2019)

Свойства тонких пленок на основе полимолочной кислоты после паровой стерилизации
by: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
Published: (2019)

Технология тонких пленок справочник пер. с англ.
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
by: Антоненко С. В.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Структура и свойства нанопродуктов системы P2O5-SiO2
Published: (2008)

Influence of SiO2 nanoparticles additive on radiation stability of TiO2 micropowders
Published: (2014)

Synthesis and Study on Pore Structure of SiO[2]/Al[2]O[3] Aerogel
Published: (2015)

Hydrophilicity of Mordenites with Different SiO[2]/Al[2]O[3] Molar Ratio
Published: (2015)

Фазовые превращения в системе SiO2-MgO-Al2O3-K2SiF6
by: Усов П. Г. Петр Григорьевич
Published: (1973)

Электротермические процессы в производстве фтороводорода и плавиковой кислоты диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Зарипова Л. Ф. Людмила Федоровна
Published: (Северск, 1999)

Получение композитов квантовые точки CdS/мезопористая матрица SiO2
by: Готвцева Е. Ю.
Published: (2012)

Unique self-assembling biomorphic hierarchic properties of SiO2-nanostructures
Published: (2013)

Эффективность дефектообразования в стеклообразном [SiO2] при Уф-воздействии
by: Киселев В. Г.
Published: (1988)

Разработка опытной установки получения безводного фтороводорода методом ректификации 70% плавиковой кислоты
by: Соловьёв В. С.
Published: (2021)

Электротермические процессы в производстве фтороводорода и плавиковой кислоты автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Зарипова Л. Ф. Людмила Федоровна
Published: (Томск, [Б. и.], 1999)

Исследование и применение тонких пленок
by: Борисов А. Н. Андрей Н.
Published: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Коагуляция и динамика тонких пленок
by: Духин С. С. Станислав Самуилович
Published: (Киев, Наукова думка, 1986)

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
by: Васичев Б. Н. Борис Никитович
Published: (Москва, Металлургия, 1977)