Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]/ Томский политехнический институт (ТПИ).— , 1944-1976 Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология.— 1976.— [С. 109-112]
Main Author:	Каплин А. А. Анатолий Александрович
Other Authors:	Покровская А. Н., Стромберг А. Г. Армин Генрихович
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi.
Language:	Russian
Published:	1976
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	Черно-белая версия для предварительного просмотра Цветная версия без потери качества
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237374

Internet