Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН
| Parent link: | Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]/ Томский политехнический институт (ТПИ).— , 1944-1976 Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология.— 1976.— [С. 109-112] |
|---|---|
| Հիմնական հեղինակ: | |
| Այլ հեղինակներ: | , |
| Ամփոփում: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi. |
| Լեզու: | ռուսերեն |
| Հրապարակվել է: |
1976
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | Черно-белая версия для предварительного просмотра Цветная версия без потери качества |
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237374 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 237374 | ||
| 005 | 20240314104611.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\258546 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\258545 | ||
| 090 | |a 237374 | ||
| 100 | |a 20130515d1976 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН |f А. А. Каплин, А. Н. Покровская, А. Г. Стромберг | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 2 файла (206 Кб, 8 Мб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 112 (6 назв.)] | ||
| 330 | |a Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\200995 |t Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ] |f Томский политехнический институт (ТПИ) |d 1944-1976 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\258477 |t Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология |v [С. 109-112] |d 1976 |p 136 с. | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 700 | 1 | |a Каплин |b А. А. |c российский химик |c профессор кафедры аналитической химии Томского политехнического института |f 1937-1989 |g Анатолий Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19797 |9 7735 | |
| 701 | 1 | |a Покровская |b А. Н. | |
| 701 | 1 | |a Стромберг |b А. Г. |c химик, специалист в области классической полярографии и инверсионной вольтамперометрии |c профессор Томского политехнического института |f 1910-2004 |g Армин Генрихович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\11188 |9 2478 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090320 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20150728 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/1976/v275/33_bw.pdf |z Черно-белая версия для предварительного просмотра | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/1976/v275/33_full.pdf |z Цветная версия без потери качества | |
| 942 | |c CF | ||