Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук

Бібліографічні деталі
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 215-217]
Автор:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Інші автори:	Подаруева Ю. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Резюме:	Заглавие с экрана Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using the DMS method. In this report we discuss the phase composition thin films of TiO2 depending on conditions of sputtering. The films were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result of this investigation is determination the mode of deposition thin films of the required stoichiometry.
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2012
Серія:	Физика
Предмети:	электронный ресурс труды учёных ТПУ исследование фазовый состав тонкие пленки диоксид титана средние величины частотные преобразования дуальное управление магнетронное распыление
Онлайн доступ:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/069.pdf
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237350

Схожі ресурси

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
за авторством: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2014)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
за авторством: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТУСУР, 1997)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Сунь Чжилэй
Опубліковано: (2020)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Сунь Чжилэй
Опубліковано: (2019)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
за авторством: Дронова М. В.
Опубліковано: (2015)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
за авторством: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Опубліковано: (2009)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Петрова Ю. С.
Опубліковано: (2009)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
за авторством: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Опубліковано: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубліковано: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
за авторством: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубліковано: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубліковано: (Томск, 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Осипова Е. С.
Опубліковано: (2023)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением справочное пособие
за авторством: Берлин Е. В.
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2014)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
за авторством: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Опубліковано: (2016)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Шаронова А. А. Анна Александровна
Опубліковано: (2013)

Свойства полиэтилентерефталатных трековых мембран с полимерным слоем, полученным магнетронным распылением политетрафторэтилена в вакууме; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
за авторством: Ахметшарипова Т. К.
Опубліковано: (2016)

Анализ физико-механических свойств покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Опубліковано: (2012)

Сенсоры водорода на основе тонких пленок диоксида олова с добавками Y и Ag в объеме в режиме термоциклирования; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Алмаев А. В.
Опубліковано: (2017)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
за авторством: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубліковано: (2013)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Опубліковано: (2017)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
за авторством: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Опубліковано: (Минск, Наука и техника, 1989)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
за авторством: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубліковано: (2009)

Создание биосовременных кальций-фосфатных покрытий на материалах медицинских имплантантов высокочастотным магнетронным распылением: состав, структура, адгезионные и деформационные характеристики; Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине
Опубліковано: (2007)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, 2017)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
за авторством: Цао Янь
Опубліковано: (2007)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Опубліковано: (2016)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Опубліковано: (2013)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
за авторством: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Опубліковано: (2016)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубліковано: (2012)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
за авторством: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубліковано: (2012)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2017)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
за авторством: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Опубліковано: (2018)

Технологический комплекс для формирования кальций-фосфатных покрытий ВЧ - магнетронным распылением: элементный состав и морфология полученных пленок; Современные техника и технологии; Т. 1
за авторством: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Опубліковано: (2013)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, 2017)

Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
за авторством: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Опубліковано: (2007)

Исследование состава и структуры покрытий на основе диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Письма о материалах; Т. 7, № 2
Опубліковано: (2017)

Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
за авторством: Золкин А. С.
Опубліковано: (2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2017)

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Материаловедение; № 1
за авторством: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубліковано: (2021)