Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 215-217]
Main Author:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Other Authors:	Подаруева Ю. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с экрана Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using the DMS method. In this report we discuss the phase composition thin films of TiO2 depending on conditions of sputtering. The films were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result of this investigation is determination the mode of deposition thin films of the required stoichiometry.
Language:	English
Published:	2012
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ исследование фазовый состав тонкие пленки диоксид титана средние величины частотные преобразования дуальное управление магнетронное распыление
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/069.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237350

Similar Items

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Published: (Томск, Изд-во ТУСУР, 1997)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2019)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Дронова М. В.
Published: (2015)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Published: (2009)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Петрова Ю. С.
Published: (2009)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Published: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Осипова Е. С.
Published: (2023)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением справочное пособие
by: Берлин Е. В.
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)

Свойства полиэтилентерефталатных трековых мембран с полимерным слоем, полученным магнетронным распылением политетрафторэтилена в вакууме; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
by: Ахметшарипова Т. К.
Published: (2016)

Анализ физико-механических свойств покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Published: (2012)

Сенсоры водорода на основе тонких пленок диоксида олова с добавками Y и Ag в объеме в режиме термоциклирования; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Алмаев А. В.
Published: (2017)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2013)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Published: (2017)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
by: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1989)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)

Создание биосовременных кальций-фосфатных покрытий на материалах медицинских имплантантов высокочастотным магнетронным распылением: состав, структура, адгезионные и деформационные характеристики; Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине
Published: (2007)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Цао Янь
Published: (2007)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Published: (2016)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Published: (2013)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
by: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Published: (2016)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2012)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2012)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
by: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Published: (2018)

Технологический комплекс для формирования кальций-фосфатных покрытий ВЧ - магнетронным распылением: элементный состав и морфология полученных пленок; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Published: (2013)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Published: (2007)

Исследование состава и структуры покрытий на основе диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Письма о материалах; Т. 7, № 2
Published: (2017)

Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
by: Золкин А. С.
Published: (2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Материаловедение; № 1
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2021)