Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. П. Никитич ; А. М. Лидер ; Ю. Р. Цой ; М. Е. Семенов. [С. 215-217].— , 2012
Autore principale:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Altri autori:	Подаруева Ю. С. (727), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Riassunto:	Заглавие с экрана Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using the DMS method. In this report we discuss the phase composition thin films of TiO2 depending on conditions of sputtering. The films were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result of this investigation is determination the mode of deposition thin films of the required stoichiometry.
Pubblicazione:	2012
Serie:	Физика
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ исследование фазовый состав тонкие пленки диоксид титана средние величины частотные преобразования дуальное управление магнетронное распыление
Accesso online:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/069.pdf
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237350

Documenti analoghi

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (2020)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (2019)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2014)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
di: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Pubblicazione: (Томск, Изд-во ТУСУР, 1997)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением
di: Дронова М. В.
Pubblicazione: (2015)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
di: Петрова Ю. С.
Pubblicazione: (2009)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
di: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Pubblicazione: (2009)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
di: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Pubblicazione: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Pubblicazione: (Томск, 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2013)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием
di: Осипова Е. С.
Pubblicazione: (2023)

Свойства полиэтилентерефталатных трековых мембран с полимерным слоем, полученным магнетронным распылением политетрафторэтилена в вакууме
di: Ахметшарипова Т. К.
Pubblicazione: (2016)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
di: Шаронова А. А. Анна Александровна
Pubblicazione: (2013)

Анализ физико-механических свойств покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
di: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Pubblicazione: (2012)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
di: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Pubblicazione: (2016)

Сенсоры водорода на основе тонких пленок диоксида олова с добавками Y и Ag в объеме в режиме термоциклирования
di: Алмаев А. В.
Pubblicazione: (2017)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе
di: Цао Янь
Pubblicazione: (2007)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering
Pubblicazione: (2017)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2009)

Создание биосовременных кальций-фосфатных покрытий на материалах медицинских имплантантов высокочастотным магнетронным распылением: состав, структура, адгезионные и деформационные характеристики
Pubblicazione: (2007)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Pubblicazione: (Томск, 2017)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Pubblicazione: (2016)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
Pubblicazione: (2013)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2012)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition
di: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Pubblicazione: (2016)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study
di: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Pubblicazione: (2018)

Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок
di: Золкин А. С.
Pubblicazione: (2017)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением справочное пособие
di: Берлин Е. В.
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2012)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2017)

Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины
di: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Pubblicazione: (2007)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Pubblicazione: (Томск, 2017)

Исследование состава и структуры покрытий на основе диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Pubblicazione: (2017)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
di: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1989)

Оптические свойства пленок ITO
di: Петрюк А. Е.
Pubblicazione: (2018)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2017)

Технологический комплекс для формирования кальций-фосфатных покрытий ВЧ - магнетронным распылением: элементный состав и морфология полученных пленок
di: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Pubblicazione: (2013)