Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. П. Никитич ; А. М. Лидер ; Ю. Р. Цой ; М. Е. Семенов. [С. 215-217].— , 2012 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с экрана Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using the DMS method. In this report we discuss the phase composition thin films of TiO2 depending on conditions of sputtering. The films were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result of this investigation is determination the mode of deposition thin films of the required stoichiometry. |
| Published: |
2012
|
| Series: | Физика |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/069.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237350 |