Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 215-217]
Main Author:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Other Authors:	Подаруева Ю. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с экрана Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using the DMS method. In this report we discuss the phase composition thin films of TiO2 depending on conditions of sputtering. The films were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result of this investigation is determination the mode of deposition thin films of the required stoichiometry.
Language:	English
Published:	2012
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ исследование фазовый состав тонкие пленки диоксид титана средние величины частотные преобразования дуальное управление магнетронное распыление
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/069.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237350

Internet