|
|
|
|
| LEADER |
00000nla2a2200000 4500 |
| 001 |
237350 |
| 005 |
20260209150813.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\258522
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\258520
|
| 090 |
|
|
|a 237350
|
| 100 |
|
|
|a 20130514d2012 k y0engy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
|f Д. В. Сиделёв, Ю. С. Подаруева
|g науч. рук. Ю. Н. Юрьев
|d The phase composition thin films of titanium dioxide received by mf dual magnetron sputtering
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(348 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 217 (6 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a Titanium dioxide (TiO2) thin films were obtained using the DMS method. In this report we discuss the phase composition thin films of TiO2 depending on conditions of sputtering. The films were characterized by spectrophotometry and ellipsometry methods. The main result of this investigation is determination the mode of deposition thin films of the required stoichiometry.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256864
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. П. Никитич ; А. М. Лидер ; Ю. Р. Цой ; М. Е. Семенов
|v [С. 215-217]
|d 2012
|
| 510 |
1 |
|
|a The phase composition thin films of titanium dioxide received by mf dual magnetron sputtering
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовый состав
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a диоксид титана
|
| 610 |
1 |
|
|a средние величины
|
| 610 |
1 |
|
|a частотные преобразования
|
| 610 |
1 |
|
|a дуальное управление
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 700 |
|
1 |
|a Сиделёв
|b Д. В.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1991-
|g Дмитрий Владимирович
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510
|9 17891
|
| 701 |
|
1 |
|a Подаруева
|b Ю. С.
|
| 702 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета
|c младший научный сотрудник
|g Юрий Николаевич
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160407
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/069.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
