Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Подаруева Ю. С., & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2012). Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук. 2012.
Chicago Style (17th ed.) CitationСиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Подаруева Ю. С., and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук. 2012, 2012.
MLA (9th ed.) CitationСиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, et al. Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук. 2012, 2012.