Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Подаруева Ю. С., & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2012). Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук. 2012.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումСиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Подаруева Ю. С., and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук. 2012, 2012.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումСиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, et al. Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук. 2012, 2012.