Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157]
Main Author:	Майер Д. Н.
Other Authors:	Юрьева А. В. Алена Викторовна (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.
Language:	Russian
Published:	2012
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление нанесение методы покрытия
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009

Similar Items

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2018)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Published: (2008)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2020)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2009)

Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Published: (2007)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Published: (2009)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2010)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Published: (2009)

Физико-химические основы нанесения покрытий: учебное пособие для вузов
by: Палеха Константин Кузьмич
Published: (Киев, Изд-во КПИ, 1992)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Published: (2013)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Published: (2014)

Применение высокочастотного магнетронного распыления для формирования на поверхности титана тонких кальций-фосфатных биосовместимых покрытий; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11
Published: (2007)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2012)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Published: (2013)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Гаранин Ю. А.
Published: (2022)

Механические свойства покрытий на основе магний-замещенного гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Published: (2024)

Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2022)

Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа; Проблемы прочности и пластичности материалов в условиях внешних энергетических воздействий
Published: (2021)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Механохимический синтез гидроксилапатита с замещениями для нанесения покрытий на медицинские имплантаты методом высокочастотного магнетронного распыления; Химия в интересах устойчивого развития; Т. 17, № 5
Published: (2009)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
by: Зелецов Д.
Published: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Published: (2022)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Published: (2016)

Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 2
by: Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Published: (2002)

Investigation of physical and mechanical properties of biocompatible coatings based on silver-hydroxyapatite deposited by radio-frequency magnetron sputtering; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Syromotina D. S.
Published: (2013)

Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Гаранин Ю. А.
Published: (2023)

Сравнительное изучение стойкости защитных нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и In-Sn-O к ударным воздействиям твердых микрочастиц; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Калиева Р. А.
Published: (2018)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Published: (2006)

Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерода с нанокристалической структурой; Журнал технической физики; Т. 72, вып. 2
Published: (2002)

Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Ашихмин Д. А.
Published: (2024)

Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения
by: Фишер М. Э.
Published: (2025)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Грибенников М. В.
Published: (2013)

Calcium-phosphate coating on AZ91d magnesium alloy prepared via RF magnetron sputtering; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Published: (2015)

Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Иванова Е. С.
Published: (2013)

Исследование способов управления структурой ВЧ-магнетронных кальцийфосфатных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 12/3
Published: (2013)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
by: Просолов К. А. Константин Александрович
Published: (2017)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления; Высокие технологии в современной науке и технике
Published: (2014)