Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157] |
|---|---|
| Hlavní autor: | Майер Д. Н. |
| Další autoři: | Юрьева А. В. Алена Викторовна (научный руководитель) |
| Shrnutí: | Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве. |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
2012
|
| Edice: | Физика |
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009 |
Podobné jednotky
Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Vydáno: (2018)
Autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Vydáno: (2018)
Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Vydáno: (2008)
Vydáno: (2008)
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
Autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Vydáno: (2020)
Autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Vydáno: (2020)
Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
Autor: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Vydáno: (2007)
Autor: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Vydáno: (2007)
Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Autor: Шпакова Н. Ю.
Vydáno: (2009)
Autor: Шпакова Н. Ю.
Vydáno: (2009)
Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Autor: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Vydáno: (2009)
Autor: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Vydáno: (2009)
Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
Autor: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Vydáno: (2010)
Autor: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Vydáno: (2010)
Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Autor: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Vydáno: (2009)
Autor: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Vydáno: (2009)
Физико-химические основы нанесения покрытий: учебное пособие для вузов
Autor: Палеха Константин Кузьмич
Vydáno: (Киев, Изд-во КПИ, 1992)
Autor: Палеха Константин Кузьмич
Vydáno: (Киев, Изд-во КПИ, 1992)
Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Vydáno: (2013)
Vydáno: (2013)
Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Autor: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Vydáno: (2014)
Autor: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Vydáno: (2014)
Применение высокочастотного магнетронного распыления для формирования на поверхности титана тонких кальций-фосфатных биосовместимых покрытий; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11
Vydáno: (2007)
Vydáno: (2007)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Autor: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Vydáno: (2012)
Autor: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Vydáno: (2012)
Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Vydáno: (2013)
Vydáno: (2013)
Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Autor: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Vydáno: (2009)
Autor: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Vydáno: (2009)
Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Гаранин Ю. А.
Vydáno: (2022)
Autor: Гаранин Ю. А.
Vydáno: (2022)
Механические свойства покрытий на основе магний-замещенного гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Vydáno: (2024)
Autor: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Vydáno: (2024)
Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Vydáno: (2022)
Autor: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Vydáno: (2022)
Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа; Проблемы прочности и пластичности материалов в условиях внешних энергетических воздействий
Vydáno: (2021)
Vydáno: (2021)
Механохимический синтез гидроксилапатита с замещениями для нанесения покрытий на медицинские имплантаты методом высокочастотного магнетронного распыления; Химия в интересах устойчивого развития; Т. 17, № 5
Vydáno: (2009)
Vydáno: (2009)
Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 2
Autor: Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Vydáno: (2002)
Autor: Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Vydáno: (2002)
Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
Autor: Зелецов Д.
Vydáno: (2019)
Autor: Зелецов Д.
Vydáno: (2019)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Рогожников Д. С.
Vydáno: (2016)
Autor: Рогожников Д. С.
Vydáno: (2016)
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Autor: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2016)
Autor: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2016)
Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Vydáno: (2022)
Autor: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Vydáno: (2022)
Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Vydáno: (2016)
Vydáno: (2016)
Investigation of physical and mechanical properties of biocompatible coatings based on silver-hydroxyapatite deposited by radio-frequency magnetron sputtering; Перспективы развития фундаментальных наук
Autor: Syromotina D. S.
Vydáno: (2013)
Autor: Syromotina D. S.
Vydáno: (2013)
Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Гаранин Ю. А.
Vydáno: (2023)
Autor: Гаранин Ю. А.
Vydáno: (2023)
Сравнительное изучение стойкости защитных нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и In-Sn-O к ударным воздействиям твердых микрочастиц; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Калиева Р. А.
Vydáno: (2018)
Autor: Калиева Р. А.
Vydáno: (2018)
Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Vydáno: (2006)
Vydáno: (2006)
Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерода с нанокристалической структурой; Журнал технической физики; Т. 72, вып. 2
Vydáno: (2002)
Vydáno: (2002)
Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения
Autor: Фишер М. Э.
Vydáno: (2025)
Autor: Фишер М. Э.
Vydáno: (2025)
Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Ашихмин Д. А.
Vydáno: (2024)
Autor: Ашихмин Д. А.
Vydáno: (2024)
Прогрессивные технологические процессы нанесения гальванических, химических и анодизационных покрытий. Автоматизация и механизация процессов нанесения покрытий
Autor: Вадачкория Д. П.
Vydáno: (Москва, [Б. и.], 1969)
Autor: Вадачкория Д. П.
Vydáno: (Москва, [Б. и.], 1969)
Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Autor: Грибенников М. В.
Vydáno: (2013)
Autor: Грибенников М. В.
Vydáno: (2013)
Исследование способов управления структурой ВЧ-магнетронных кальцийфосфатных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 12/3
Vydáno: (2013)
Vydáno: (2013)
Calcium-phosphate coating on AZ91d magnesium alloy prepared via RF magnetron sputtering; Перспективы развития фундаментальных наук
Autor: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Vydáno: (2015)
Autor: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Vydáno: (2015)
Импульсные методы нанесения порошковых покрытий
Autor: Дорожкин Н. Н. Нил Николаевич
Vydáno: (Минск, Наука и техника, 1985)
Autor: Дорожкин Н. Н. Нил Николаевич
Vydáno: (Минск, Наука и техника, 1985)
Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
Autor: Иванова Е. С.
Vydáno: (2013)
Autor: Иванова Е. С.
Vydáno: (2013)
Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Autor: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Vydáno: (2009)
Autor: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Vydáno: (2009)
Podobné jednotky
-
Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Vydáno: (2018) -
Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Vydáno: (2008) -
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
Autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Vydáno: (2020) -
Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
Autor: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Vydáno: (2007) -
Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Autor: Шпакова Н. Ю.
Vydáno: (2009)