Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157] |
|---|---|
| 1. autor: | Майер Д. Н. |
| Kolejni autorzy: | Юрьева А. В. Алена Викторовна (научный руководитель) |
| Streszczenie: | Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве. |
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
2012
|
| Seria: | Физика |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf |
| Format: | Elektroniczne Rozdział |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009 |
Podobne zapisy
Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
od: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Wydane: (2018)
od: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Wydane: (2018)
Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Wydane: (2008)
Wydane: (2008)
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
od: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Wydane: (2020)
od: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Wydane: (2020)
Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Шпакова Н. Ю.
Wydane: (2009)
od: Шпакова Н. Ю.
Wydane: (2009)
Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
od: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Wydane: (2007)
od: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Wydane: (2007)
Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Wydane: (2009)
od: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Wydane: (2009)
Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Wydane: (2010)
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Wydane: (2010)
Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Wydane: (2009)
od: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Wydane: (2009)
Физико-химические основы нанесения покрытий: учебное пособие для вузов
od: Палеха Константин Кузьмич
Wydane: (Киев, Изд-во КПИ, 1992)
od: Палеха Константин Кузьмич
Wydane: (Киев, Изд-во КПИ, 1992)
Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Wydane: (2013)
Wydane: (2013)
Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Wydane: (2014)
od: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Wydane: (2014)
Применение высокочастотного магнетронного распыления для формирования на поверхности титана тонких кальций-фосфатных биосовместимых покрытий; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11
Wydane: (2007)
Wydane: (2007)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Wydane: (2012)
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Wydane: (2012)
Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Wydane: (2013)
Wydane: (2013)
Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Wydane: (2009)
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Wydane: (2009)
Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Гаранин Ю. А.
Wydane: (2022)
od: Гаранин Ю. А.
Wydane: (2022)
Механические свойства покрытий на основе магний-замещенного гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Wydane: (2024)
od: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Wydane: (2024)
Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Wydane: (2022)
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Wydane: (2022)
Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа; Проблемы прочности и пластичности материалов в условиях внешних энергетических воздействий
Wydane: (2021)
Wydane: (2021)
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2016)
od: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2016)
Механохимический синтез гидроксилапатита с замещениями для нанесения покрытий на медицинские имплантаты методом высокочастотного магнетронного распыления; Химия в интересах устойчивого развития; Т. 17, № 5
Wydane: (2009)
Wydane: (2009)
Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
od: Зелецов Д.
Wydane: (2019)
od: Зелецов Д.
Wydane: (2019)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Рогожников Д. С.
Wydane: (2016)
od: Рогожников Д. С.
Wydane: (2016)
Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Wydane: (2022)
od: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Wydane: (2022)
Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Wydane: (2016)
Wydane: (2016)
Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 2
od: Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Wydane: (2002)
od: Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Wydane: (2002)
Investigation of physical and mechanical properties of biocompatible coatings based on silver-hydroxyapatite deposited by radio-frequency magnetron sputtering; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Syromotina D. S.
Wydane: (2013)
od: Syromotina D. S.
Wydane: (2013)
Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Гаранин Ю. А.
Wydane: (2023)
od: Гаранин Ю. А.
Wydane: (2023)
Сравнительное изучение стойкости защитных нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и In-Sn-O к ударным воздействиям твердых микрочастиц; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Калиева Р. А.
Wydane: (2018)
od: Калиева Р. А.
Wydane: (2018)
Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Wydane: (2006)
Wydane: (2006)
Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерода с нанокристалической структурой; Журнал технической физики; Т. 72, вып. 2
Wydane: (2002)
Wydane: (2002)
Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Ашихмин Д. А.
Wydane: (2024)
od: Ашихмин Д. А.
Wydane: (2024)
Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения
od: Фишер М. Э.
Wydane: (2025)
od: Фишер М. Э.
Wydane: (2025)
Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Грибенников М. В.
Wydane: (2013)
od: Грибенников М. В.
Wydane: (2013)
Calcium-phosphate coating on AZ91d magnesium alloy prepared via RF magnetron sputtering; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Wydane: (2015)
od: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Wydane: (2015)
Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Иванова Е. С.
Wydane: (2013)
od: Иванова Е. С.
Wydane: (2013)
Исследование способов управления структурой ВЧ-магнетронных кальцийфосфатных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 12/3
Wydane: (2013)
Wydane: (2013)
Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Wydane: (2009)
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Wydane: (2009)
Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
od: Просолов К. А. Константин Александрович
Wydane: (2017)
od: Просолов К. А. Константин Александрович
Wydane: (2017)
Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления; Высокие технологии в современной науке и технике
Wydane: (2014)
Wydane: (2014)
Podobne zapisy
-
Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
od: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Wydane: (2018) -
Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Wydane: (2008) -
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
od: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Wydane: (2020) -
Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Шпакова Н. Ю.
Wydane: (2009) -
Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
od: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Wydane: (2007)