Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук

Opis bibliograficzny
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157]
1. autor: Майер Д. Н.
Kolejni autorzy: Юрьева А. В. Алена Викторовна (научный руководитель)
Streszczenie:Заглавие с экрана
В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.
Język:rosyjski
Wydane: 2012
Seria:Физика
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf
Format: Elektroniczne Rozdział
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009

Podobne zapisy