Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук

Podrobná bibliografie
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157]
Hlavní autor: Майер Д. Н.
Další autoři: Юрьева А. В. Алена Викторовна (научный руководитель)
Shrnutí:Заглавие с экрана
В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.
Jazyk:angličtina
Vydáno: 2012
Edice:Физика
Témata:
On-line přístup:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf
Médium: Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009

Podobné jednotky