Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157]
Main Author:	Майер Д. Н.
Other Authors:	Юрьева А. В. Алена Викторовна (727)
Summary:	Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.
Language:	English
Published:	2012
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление нанесение методы покрытия
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009

Internet