Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157] |
|---|---|
| 第一著者: | |
| その他の著者: | |
| 要約: | Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве. |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
2012
|
| シリーズ: | Физика |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009 |