Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). [С. 155-157].— , 2012 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве. |
| Published: |
2012
|
| Series: | Физика |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009 |