Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157]
Yazar:	Майер Д. Н.
Diğer Yazarlar:	Юрьева А. В. Алена Викторовна (научный руководитель)
Özet:	Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	2012
Seri Bilgileri:	Физика
Konular:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление нанесение методы покрытия
Online Erişim:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf
Materyal Türü:	Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009

Internet