Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157] |
|---|---|
| Հիմնական հեղինակ: | |
| Այլ հեղինակներ: | |
| Ամփոփում: | Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве. |
| Լեզու: | ռուսերեն |
| Հրապարակվել է: |
2012
|
| Շարք: | Физика |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf |
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009 |