|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
237009 |
| 005 |
20260422125618.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\258178
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\257731
|
| 090 |
|
|
|a 237009
|
| 100 |
|
|
|a 20130508d2012 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
|f Д. Н. Майер
|g науч. рук. А. В. Юрьева
|d Magnetron-sputtern als eine der methoden der beschichtung
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(362 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 157 (5 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256864
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|o сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 155-157]
|l Prospects of fundamental sciences development
|d 2012
|
| 510 |
1 |
|
|a Magnetron-sputtern als eine der methoden der beschichtung
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 700 |
|
1 |
|a Майер
|b Д. Н.
|
| 702 |
|
1 |
|a Юрьева
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|f 1983-
|g Алена Викторовна
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140110
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
