Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук

מידע ביבליוגרפי
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157]
מחבר ראשי: Майер Д. Н.
מחברים אחרים: Юрьева А. В. Алена Викторовна (научный руководитель)
סיכום:Заглавие с экрана
В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.
שפה:רוסית
יצא לאור: 2012
סדרה:Физика
נושאים:
גישה מקוונת:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf
פורמט: אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009
תיאור
תיאור פיזי:1 файл(362 Кб)
סיכום:Заглавие с экрана
В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве.