Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 155-157] |
|---|---|
| Auteur principal: | |
| Autres auteurs: | |
| Résumé: | Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве. |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
2012
|
| Collection: | Физика |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/049.pdf |
| Format: | Électronique Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237009 |
| Description matérielle: | 1 файл(362 Кб) |
|---|---|
| Résumé: | Заглавие с экрана В данной статье речь идет о магнетронном распылении, как одном из основных методов вакуумного нанесения покрытий. Описывается работа магнетрона на примере обычного планарного магнетрона и необходимость его использования в производстве. |