|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
236363 |
| 005 |
20260415140603.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\257523
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\257456
|
| 090 |
|
|
|a 236363
|
| 100 |
|
|
|a 20130423d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
|f И. А. Гребнева, Ю. В. Быкова, Н. С. Морозова
|g науч. рук. В. Ф. Пичугин
|d Surface morphology of titanium oxide and oxinitride coatings,grown by the method of reactive magnetron spattering deposition.
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(539 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 69 (3 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a This work is dedicated to the researching of biocompatible titanium oxide and titanium oxinitride thin films surface morphology. The films are formed by the method of reactive magnetron sputtering. The patterns of changes in thickness and roughness parameters with the growth of coatings were analyzed and the structure of coatings was investigated. Elemental analysis was carried out, which showed the presence of titanium and oxygen atoms in titanium oxide films and titanium, oxygen and nitrogen in titanium oxynitride films.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256864
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|o сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 67-69]
|l Prospects of fundamental sciences development
|d 2012
|
| 510 |
1 |
|
|a Surface morphology of titanium oxide and oxinitride coatings,grown by the method of reactive magnetron spattering deposition.
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a морфология поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a оксиды титана
|
| 610 |
1 |
|
|a оксинитриды
|
| 610 |
1 |
|
|a реактивное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 700 |
|
1 |
|a Гребнева
|b И. А.
|c специалист в области теоретической и экспериментальной физики
|c инженер-исследователь Тмского политехнического университета
|f 1989
|g Ирина Андреевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30574
|
| 701 |
|
1 |
|a Быкова
|b Ю. В.
|c инженерТомского политехнического университета
|c специалист в области теоретической и экспериментальной физики
|f 1989-
|g Юлия Владиславовна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30031
|
| 701 |
|
1 |
|a Морозова
|b Н. С.
|c специалист в области теоретической и экспериментальной физики
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета
|g Наталья Сергеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28689
|
| 702 |
|
1 |
|a Пичугин
|b В. Ф.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1944-
|g Владимир Федорович
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131016
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/018.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
