Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 67-69]
Main Author:	Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Other Authors:	Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна (научный руководитель), Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:	Заглавие с экрана This work is dedicated to the researching of biocompatible titanium oxide and titanium oxinitride thin films surface morphology. The films are formed by the method of reactive magnetron sputtering. The patterns of changes in thickness and roughness parameters with the growth of coatings were analyzed and the structure of coatings was investigated. Elemental analysis was carried out, which showed the presence of titanium and oxygen atoms in titanium oxide films and titanium, oxygen and nitrogen in titanium oxynitride films.
Language:	Russian
Published:	2012
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ морфология поверхности покрытия оксиды титана оксинитриды реактивное распыление магнетронное распыление
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/018.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236363

Internet