Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук

מידע ביבליוגרפי
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 44-46]
מחבר ראשי: Валдаева С. В.
מחברים אחרים: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (научный руководитель)
סיכום:Заглавие с экрана
The characteristics of the magnetron sputtering system with a liquid-phase magnetron are studied. The model of energy balance at the liquid target of MSS is used. The influence of crucible material properties isconsidered.
שפה:רוסית
יצא לאור: 2012
סדרה:Физика
נושאים:
גישה מקוונת:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/010.pdf
פורמט: אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236275

פריטים דומים