Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 44-46]
Main Author:	Валдаева С. В.
Other Authors:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (727)
Summary:	Заглавие с экрана The characteristics of the magnetron sputtering system with a liquid-phase magnetron are studied. The model of energy balance at the liquid target of MSS is used. The influence of crucible material properties isconsidered.
Language:	Russian
Published:	2012
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ исследование форма интенсивность атомы жидкие металлы магнетронные распылительные системы свойства
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/010.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236275

Internet