|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
236275 |
| 005 |
20260105170029.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\257427
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\257303
|
| 090 |
|
|
|a 236275
|
| 100 |
|
|
|a 20130422d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС
|f С. В. Валдаева
|g науч. рук. Г. А. Блейхер
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(453 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 46 (3 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a The characteristics of the magnetron sputtering system with a liquid-phase magnetron are studied. The model of energy balance at the liquid target of MSS is used. The influence of crucible material properties isconsidered.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256864
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|o сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 44-46]
|l Prospects of fundamental sciences development
|d 2012
|
| 510 |
1 |
|
|a The investigation of crucible properties influence on intensity of atom emission from surface of a liquid metall target of MSS
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a форма
|
| 610 |
1 |
|
|a интенсивность
|
| 610 |
1 |
|
|a атомы
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкие металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 700 |
|
1 |
|a Валдаева
|b С. В.
|
| 702 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180503
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/010.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
