Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 44-46] |
|---|---|
| Հիմնական հեղինակ: | |
| Այլ հեղինակներ: | |
| Ամփոփում: | Заглавие с экрана The characteristics of the magnetron sputtering system with a liquid-phase magnetron are studied. The model of energy balance at the liquid target of MSS is used. The influence of crucible material properties isconsidered. |
| Լեզու: | ռուսերեն |
| Հրապարակվել է: |
2012
|
| Շարք: | Физика |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/010.pdf |
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236275 |
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | 1 файл(453 Кб) |
|---|---|
| Ամփոփում: | Заглавие с экрана The characteristics of the magnetron sputtering system with a liquid-phase magnetron are studied. The model of energy balance at the liquid target of MSS is used. The influence of crucible material properties isconsidered. |