Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук

Մատենագիտական մանրամասներ
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 44-46]
Հիմնական հեղինակ: Валдаева С. В.
Այլ հեղինակներ: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (научный руководитель)
Ամփոփում:Заглавие с экрана
The characteristics of the magnetron sputtering system with a liquid-phase magnetron are studied. The model of energy balance at the liquid target of MSS is used. The influence of crucible material properties isconsidered.
Լեզու:ռուսերեն
Հրապարակվել է: 2012
Շարք:Физика
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/010.pdf
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236275
Նկարագրություն
Ֆիզիկական նկարագրություն:1 файл(453 Кб)
Ամփոփում:Заглавие с экрана
The characteristics of the magnetron sputtering system with a liquid-phase magnetron are studied. The model of energy balance at the liquid target of MSS is used. The influence of crucible material properties isconsidered.