Масс-спектрометрические исследования плазмы ВЧ разряда пониженного давления, взаимодействующей с поверхностью твердого тела; Взаимодействие атомных частиц с твердым телом; Ч. III

Библиографические подробности
Источник:Взаимодействие атомных частиц с твердым телом: материалы V Всесоюзной конференции/ Минский радиотехнический институт ; отв. за вып. В. Е. Борисенко.— , 1979
Ч. III.— 1979.— С. 187-189
Главный автор: Тихомиров И. А. Иван Арсентьевич
Другие авторы: Клименов В. А. Василий Александрович
Язык:русский
Опубликовано: 1979
Предметы:
Формат: Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235979

Схожие документы