Масс-спектрометрические исследования плазмы ВЧ разряда пониженного давления, взаимодействующей с поверхностью твердого тела
| Parent link: | Взаимодействие атомных частиц с твердым телом: материалы V Всесоюзной конференции/ Минский радиотехнический институт ; отв. за вып. В. Е. Борисенко.— , 1979 Ч. III.— 1979.— С. 187-189 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
1979
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235979 |