|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
235663 |
| 005 |
20260105122902.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\256803
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\256802
|
| 090 |
|
|
|a 235663
|
| 100 |
|
|
|a 20130415d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drnn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации и осаждения покрытий
|f Е. Ж. Нуржанов, С. А. Линник, А. В. Гайдайчук
|g науч. рук. В. Н. Легостаев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 428 (5 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\255301
|t Современные техника и технологии
|o сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г
|o в 3 т.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|d 2011
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\255308
|t Т. 3
|v [С. 427-428]
|d 2011
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a тлеющий разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a полые катоды
|
| 610 |
1 |
|
|a модификация
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 700 |
|
1 |
|a Нуржанов
|b Е. Ж.
|
| 701 |
|
1 |
|a Линник
|b С. А.
|c физик
|c инженер-исследователь Томского политехнического университета
|f 1985-
|g Степан Андреевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28210
|9 13164
|
| 701 |
|
1 |
|a Гайдайчук
|b А. В.
|c российский физик
|c аспирант, инженер-исследователь Томского политехнического университета
|f 1984-
|g Александр Валерьевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28207
|9 13161
|
| 702 |
|
1 |
|a Легостаев
|b В. Н.
|c российский физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1947-
|g Виктор Никифорович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30671
|4 727
|9 14951
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130416
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/206.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
