Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации и осаждения покрытий

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011 Т. 3.— 2011.— [С. 427-428]
Main Author:	Нуржанов Е. Ж.
Other Authors:	Линник С. А. Степан Андреевич (727), Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Легостаев В. Н. Виктор Никифорович
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2011
Series:	Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс плазма тлеющий разряд полые катоды модификация осаждение покрытия
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/206.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235663

Internet