Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011 Т. 3.— 2011.— [С. 81-82]
1. Verfasser:	Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Weitere Verfasser:	Черемных Ю. С. (727), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2011
Schriftenreihe:	Физические методы в науке и технике
Schlagworte:	труды учёных ТПУ электронный ресурс осаждение тонкие пленки распылительные системы нитрид титана
Online-Zugang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/038.pdf
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235059

Ähnliche Einträge

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
von: Киселева Д. В.
Veröffentlicht: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
von: Рогожников Д. С.
Veröffentlicht: (2016)

Hydrogen absorption by Zr-1Nb alloy with TiN[x] film deposited by filtered cathodic vacuum arc
Veröffentlicht: (2016)

Hydrogen-Permeability of Titanium-Nitride (TiN) Coatings Obtained via the Plasma-Immersion Ion Implantation of Titanium and TiN Vacuum-Arc Deposition on Zr-1%Nb Alloy
Veröffentlicht: (2018)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
Veröffentlicht: (2009)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана
von: Михневич К. С.
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2017)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron
von: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Veröffentlicht: (2015)

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией
von: Гавриленко А. В.
Veröffentlicht: (2023)

Получение керамики на основе Si3N4 И TiN методом искрового плазменного спекания
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
von: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Veröffentlicht: (2010)

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС
von: Азина М. А.
Veröffentlicht: (2011)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (2012)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Veröffentlicht: (Томск, 2018)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
von: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 1998)

Получение шихты сверхтвердого материала TiN-Cu на основе коаксиального ускорителя с использованием комбинированного электрода
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
von: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1998)

Магнетронные распылительные системы
von: Данилин Б. С. Борис Степанович
Veröffentlicht: (Москва, Радио и связь, 1982)

Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения
Veröffentlicht: (2016)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
von: Сунь Чжилэй
Veröffentlicht: (2020)

СВС порошков "TiN-AI2O3" в воздухе и получение из них керамики
von: Строкова Ю. И. Юлия Игоревна
Veröffentlicht: (2008)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Veröffentlicht: (2014)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
von: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Veröffentlicht: (2022)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.15
von: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Veröffentlicht: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения
von: Овечкин В. И.
Veröffentlicht: (2009)

Осаждение прозрачных электропроводящих покрытий на основе оксида олова
von: Теменков В. С.
Veröffentlicht: (2016)

Получение шихты сверхтвердого материала TiN-Cu на основе коаксиального ускорителя с использованием комбинированного электрода
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2017)

Fabrication and physico-mechanical properties of thin magnetron sputter deposited silver-containing hydroxyapatite films
Veröffentlicht: (2015)

The Properties and Fracture Behavior of Ion Plasma Sprayed TiN Coating on Stainless Steel Substrate
Veröffentlicht: (2015)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
von: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2021)

Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения
von: Чжан Ле
Veröffentlicht: (2015)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2015)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering
Veröffentlicht: (2017)

Исследование влияния водорода на покрытия нитрида титана, получаемые вакуумно-дуговым осаждением
von: Ле Ч.
Veröffentlicht: (2014)