Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011 Т. 3.— 2011.— [С. 81-82]
Main Author:	Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Other Authors:	Черемных Ю. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2011
Series:	Физические методы в науке и технике
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс осаждение тонкие пленки распылительные системы нитрид титана
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/038.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235059

Similar Items

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Киселева Д. В.
Published: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Hydrogen-Permeability of Titanium-Nitride (TiN) Coatings Obtained via the Plasma-Immersion Ion Implantation of Titanium and TiN Vacuum-Arc Deposition on Zr-1%Nb Alloy; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, iss. 4
Published: (2018)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Михневич К. С.
Published: (2015)

Hydrogen absorption by Zr-1Nb alloy with TiN[x] film deposited by filtered cathodic vacuum arc; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 110 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2015)
Published: (2016)

Получение керамики на основе Si3N4 И TiN методом искрового плазменного спекания; Стекло и керамика; № 10
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2015)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
by: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Published: (2015)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
Published: (2009)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Гавриленко А. В.
Published: (2023)

Получение шихты сверхтвердого материала TiN-Cu на основе коаксиального ускорителя с использованием комбинированного электрода; Электричество; № 3
Published: (2015)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2012)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, 1998)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Азина М. А.
Published: (2011)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1998)

Магнетронные распылительные системы
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Published: (2016)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Получение шихты сверхтвердого материала TiN-Cu на основе коаксиального ускорителя с использованием комбинированного электрода; Электричество; № 6
Published: (2015)

СВС порошков "TiN-AI2O3" в воздухе и получение из них керамики; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Строкова Ю. И. Юлия Игоревна
Published: (2008)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
by: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
by: Овечкин В. И.
Published: (2009)

Fabrication and physico-mechanical properties of thin magnetron sputter deposited silver-containing hydroxyapatite films; Applied Surface Science; Vol. 360, pt. B
Published: (2015)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
Published: (2014)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (2010)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Чжан Ле
Published: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Осаждение прозрачных электропроводящих покрытий на основе оксида олова; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
by: Теменков В. С.
Published: (2016)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2015)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Published: (2022)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Published: (2015)

Исследование влияния водорода на покрытия нитрида титана, получаемые вакуумно-дуговым осаждением; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Ле Ч.
Published: (2014)