Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011 Т. 3.— 2011.— [С. 81-82]
Main Author:	Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Other Authors:	Черемных Ю. С. (727), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2011
Series:	Физические методы в науке и технике
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс осаждение тонкие пленки распылительные системы нитрид титана
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/038.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235059

Internet