|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
235059 |
| 005 |
20260225091448.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\256188
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\256185
|
| 090 |
|
|
|a 235059
|
| 100 |
|
|
|a 20130404d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drnn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
|f О. С. Тупикова, Ю. С. Черемных
|g науч. рук. Ю. Н. Юрьев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Физические методы в науке и технике
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 82 (2 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\255301
|t Современные техника и технологии
|o сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г
|o в 3 т.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|d 2011
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\255308
|t Т. 3
|v [С. 81-82]
|d 2011
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид титана
|
| 700 |
|
1 |
|a Тупикова
|b О. С.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1988-
|g Ольга Сергеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30628
|9 14909
|
| 701 |
|
1 |
|a Черемных
|b Ю. С.
|
| 702 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета
|c младший научный сотрудник
|g Юрий Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543
|4 727
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130416
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/038.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
