Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
| Parent link: | Современные техника и технологии: сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011 Т. 3.— 2011.— [С. 81-82] |
|---|---|
| Tác giả chính: | |
| Tác giả khác: | , |
| Tóm tắt: | Заглавие с титульного экрана |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Nga |
| Được phát hành: |
2011
|
| Loạt: | Физические методы в науке и технике |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/038.pdf |
| Định dạng: | Điện tử Chương của sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235059 |
| Tóm tắt: | Заглавие с титульного экрана |
|---|