Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
| Parent link: | Современные техника и технологии: сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011 Т. 3.— 2011.— [С. 81-82] |
|---|---|
| Päätekijä: | |
| Muut tekijät: | , |
| Yhteenveto: | Заглавие с титульного экрана |
| Julkaistu: |
2011
|
| Sarja: | Физические методы в науке и технике |
| Aiheet: | |
| Linkit: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/038.pdf |
| Aineistotyyppi: | Elektroninen Kirjan osa |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235059 |
| Yhteenveto: | Заглавие с титульного экрана |
|---|