APA (7th ed.) Citation

Тупикова О. С. Ольга Сергеевна, Черемных Ю. С., & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2011). Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3. 2011.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Тупикова О. С. Ольга Сергеевна, Черемных Ю. С., and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3. 2011, 2011.

MLA (9th ed.) Citation

Тупикова О. С. Ольга Сергеевна, et al. Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3. 2011, 2011.