Dyfyniad APA

Тупикова О. С. Ольга Сергеевна, Черемных Ю. С., & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2011). Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2011.

Dyfyniad Arddull Chicago

Тупикова О. С. Ольга Сергеевна, Черемных Ю. С., and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2011, 2011.

Dyfyniad MLA

Тупикова О. С. Ольга Сергеевна, et al. Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2011, 2011.

Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.