Тупикова О. С. Ольга Сергеевна, Черемных Ю. С., & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2011). Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2011.
Dyfyniad Arddull ChicagoТупикова О. С. Ольга Сергеевна, Черемных Ю. С., and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2011, 2011.
Dyfyniad MLAТупикова О. С. Ольга Сергеевна, et al. Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2011, 2011.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.