Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 3.— 2010.— [С. 65-66]
Main Author:	Козин К. А. Кирилл Андреевич
Other Authors:	Горюнов А. Г. Алексей Германович (727), Сачков С. А., Козин К. А.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Published:	2010
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокочастотные токи исследование поликристаллический кремний производство промышленные установки химическое осаждение парофазное химическое осаждение дифференциальные уравнения
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/030.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234976

Similar Items

Synthesis of bimodal carbon structures via metal dusting of Ni-based alloys
Published: (2017)

Установка для получения поликристаллического кремния
Published: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2011)

Технология производства и свойства кварцевых оптических волокон учебное пособие
by: Иванов Г. А.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2011)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
Published: (2009)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2009)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
by: Андреев А. А. Артем Андреевич
Published: (2007)

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей
by: Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Published: (2009)

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом перевод № 18/ЭТ-1269
by: Стерлинг Х.
Published: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)

CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
by: Сыркин В. Г. Виталий Григорьевич
Published: (Москва, Наука, 2000)

Microstructure of amorphous copper-carbon thin films formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition
Published: (2016)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Исследования в области осаждения металлов сборник статей
Published: (Вильнюс, 1988)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Published: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения
by: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Published: (2014)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
by: Цивинская Ю. С.
Published: (2012)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Осаждение из газовой фазы сокр. пер. с англ.
Published: (Москва, Атомиздат, 1970)

Химическое осаждение металлов из водных растворов
Published: (Минск, Университетское, 1987)

Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения
Published: (2019)

Металлизация диэлектриков
by: Ильин В. А. Виталий Алексеевич
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1977)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
by: Васильев В. Ю.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Кн. 1
Published: (1986)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
by: Душик В. В.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Исследование морфологии и размеров частиц порошков ZrO[2], полученных методом химического осаждения из растворов
by: Леонов А. А. Андрей Андреевич
Published: (2015)

Графен для повышения водородостойкости циркониевого сплава Е110
by: Сорокин Д. В.
Published: (2024)

Influence of synthesis conditions on the crystallinity of hydroxyapatite obtained by chemical deposition
Published: (2016)

Осаждение золота в виде фольги
by: Хныкин П. А.
Published: (2021)

Порошки ZrO2(Y2O3), полученные химическим осаждением и плазмохимическим синтезом, и материалы на их основе
by: Асташова Т. А.
Published: (2013)

Исследования в области осаждения металлов материалы XVII республиканской конфенции электрохимиков ЛитССР, октябрь 1979 г., Вильнюс
Published: (Вильнюс, [Б. и.], 1979)

Исследования в области осаждения металлов материалы XVIII республиканской конфенции электрохимиков ЛитССР, 17 ноября 1981 г., Вильнюс
Published: (Вильнюс, [Б. и.], 1981)

Получение керамических пористых мембран на основе оксида алюминия
by: Гурьянов Д. А. Денис Андреевич
Published: (2020)