Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3

Մատենագիտական մանրամասներ
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 3.— 2010.— [С. 65-66]
Հիմնական հեղինակ:	Козин К. А. Кирилл Андреевич
Այլ հեղինակներ:	Горюнов А. Г. Алексей Германович (научный руководитель), Сачков С. А., Козин К. А.
Ամփոփում:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	2010
Խորագրեր:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокочастотные токи исследование поликристаллический кремний производство промышленные установки химическое осаждение парофазное химическое осаждение дифференциальные уравнения
Առցանց հասանելիություն:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/030.pdf
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234976

Նմանատիպ նյութեր

Synthesis of bimodal carbon structures via metal dusting of Ni-based alloys; Materials Letters; Vol. 201
Հրապարակվել է: (2017)

Установка для получения поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Технология производства и свойства кварцевых оптических волокон учебное пособие
‌: Иванов Г. А.
Հրապարակվել է: (Пермь, ПНИПУ, 2011)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (2011)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Հրապարակվել է: (2009)

Способ получения поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (2009)

Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей
‌: Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Հրապարակվել է: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
‌: Андреев А. А. Артем Андреевич
Հրապարակվել է: (2007)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (2010)

Способ получения поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
‌: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Հրապարակվել է: (2013)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Հրապարակվել է: ()

CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
‌: Сыркин В. Г. Виталий Григорьевич
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 2000)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269
‌: Стерлинг Х.
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)

Microstructure of amorphous copper-carbon thin films formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition; High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes; Vol. 20, iss. 2
Հրապարակվել է: (2016)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
‌: Родионов Ю. А.
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Исследования в области осаждения металлов: сборник статей
Հրապարակվել է: (Вильнюс, 1988)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
‌: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Հրապարակվել է: (2014)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Հրապարակվել է: (2009)

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Հրապարակվել է: (Москва, Атомиздат, 1970)

Химическое осаждение металлов из водных растворов
Հրապարակվել է: (Минск, Университетское, 1987)

Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Հրապարակվել է: (2019)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
‌: Цивинская Ю. С.
Հրապարակվել է: (2012)

Металлизация диэлектриков
‌: Ильин В. А. Виталий Алексеевич
Հրապարակվել է: (Ленинград, Машиностроение, 1977)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
‌: Душик В. В.
Հրապարակվել է: (Москва, МИСИС, 2013)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
‌: Васильев В. Ю.
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Кн. 1; Технология СБИС
Հրապարակվել է: (1986)

Исследование морфологии и размеров частиц порошков ZrO[2], полученных методом химического осаждения из растворов; Перспективы развития фундаментальных наук
‌: Леонов А. А. Андрей Андреевич
Հրապարակվել է: (2015)

Порошки ZrO2(Y2O3), полученные химическим осаждением и плазмохимическим синтезом, и материалы на их основе; Современные техника и технологии; Т. 3
‌: Асташова Т. А.
Հրապարակվել է: (2013)

Influence of synthesis conditions on the crystallinity of hydroxyapatite obtained by chemical deposition; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 156 : Materials and Technologies of New Generations in Modern Materials Science
Հրապարակվել է: (2016)

Осаждение золота в виде фольги; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
‌: Хныкин П. А.
Հրապարակվել է: (2021)

Графен для повышения водородостойкости циркониевого сплава Е110; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
‌: Сорокин Д. В.
Հրապարակվել է: (2024)

Получение керамических пористых мембран на основе оксида алюминия; Вестник Томского государственного университета. Химия; № 20
‌: Гурьянов Д. А. Денис Андреевич
Հրապարակվել է: (2020)

Исследования в области осаждения металлов: материалы XVIII республиканской конфенции электрохимиков ЛитССР, 17 ноября 1981 г., Вильнюс
Հրապարակվել է: (Вильнюс, [Б. и.], 1981)

Исследования в области осаждения металлов: материалы XVII республиканской конфенции электрохимиков ЛитССР, октябрь 1979 г., Вильнюс
Հրապարակվել է: (Вильнюс, [Б. и.], 1979)