Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 3.— 2010.— [С. 65-66]
Main Author:	Козин К. А. Кирилл Андреевич
Other Authors:	Горюнов А. Г. Алексей Германович (727), Сачков С. А., Козин К. А.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Published:	2010
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокочастотные токи исследование поликристаллический кремний производство промышленные установки химическое осаждение парофазное химическое осаждение дифференциальные уравнения
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/030.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234976

Internet