Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
| Parent link: | Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 3.— 2010.— [С. 65-66] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | , , |
| Sumari: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2010
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/030.pdf |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234976 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 234976 | ||
| 005 | 20260211095434.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\256105 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\256103 | ||
| 090 | |a 234976 | ||
| 100 | |a 20130402d2010 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния |f К. А. Козин, А. Г. Горюнов, С. А. Сачков |g науч. рук. К. А. Козин | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (190 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\245271 |t Современные техника и технологии |o сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г |o в 3 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2010 | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\255783 |t Т. 3 |v [С. 65-66] |d 2010 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a высокочастотные токи | |
| 610 | 1 | |a исследование | |
| 610 | 1 | |a поликристаллический кремний | |
| 610 | 1 | |a производство | |
| 610 | 1 | |a промышленные установки | |
| 610 | 1 | |a химическое осаждение | |
| 610 | 1 | |a парофазное химическое осаждение | |
| 610 | 1 | |a дифференциальные уравнения | |
| 700 | 1 | |a Козин |b К. А. |c специалист в области автоматики и электроники |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1980- |g Кирилл Андреевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25934 |9 11784 | |
| 701 | 1 | |a Горюнов |b А. Г. |c специалист в области автоматического управления |c заведующий кафедрой Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1979- |g Алексей Германович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25726 |9 11628 | |
| 701 | 1 | |a Сачков |b С. А. | |
| 702 | 1 | |a Козин |b К. А. |4 727 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20130213 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20130506 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/030.pdf | |
| 942 | |c CF | ||