Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
| Parent link: | Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 3.— 2010.— [С. 15-16] |
|---|---|
| Auteur principal: | |
| Autres auteurs: | , , |
| Résumé: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2010
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/005.pdf |
| Format: | Électronique Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234686 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 234686 | ||
| 005 | 20260209104046.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\255812 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\255804 | ||
| 090 | |a 234686 | ||
| 100 | |a 20130327d2010 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана |f И. А. Гребнева, Н. С. Морозова, И. М. Ермолович |g науч. рук. В. П. Яновский | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (203 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\245271 |t Современные техника и технологии |o сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г |o в 3 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2010 | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\255783 |t Т. 3 |v [С. 15-16] |d 2010 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a магнетронные разряды | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a оптические характеристики | |
| 610 | 1 | |a оксиды титана | |
| 610 | 1 | |a оксинитриды титана | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 610 | 1 | |a вакуумные установки | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a схемы | |
| 700 | 1 | |a Гребнева |b И. А. |c специалист в области теоретической и экспериментальной физики |c инженер-исследователь Тмского политехнического университета |f 1989 |g Ирина Андреевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30574 | |
| 701 | 1 | |a Морозова |b Н. С. |c специалист в области теоретической и экспериментальной физики |c инженер-проектировщик Томского политехнического университета |g Наталья Сергеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28689 | |
| 701 | 1 | |a Ермолович |b И. М. |c специалист в области теоретической и экспериментальной физики |c инженер Томского политехнического университета |f 1985 |g Игорь Михайлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30575 | |
| 702 | 1 | |a Яновский |b В. П. |4 727 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20130213 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20130506 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/005.pdf | |
| 942 | |c CF | ||