Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 3.— 2010.— [С. 15-16]
Main Author:	Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Other Authors:	Морозова Н. С. Наталья Сергеевна (727), Ермолович И. М. Игорь Михайлович, Яновский В. П.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Published:	2010
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные разряды плазма оптические характеристики оксиды титана оксинитриды титана осаждение вакуумные установки магнетронное распыление схемы
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V1/005.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234686

Internet