Гребнева И. А. Ирина Андреевна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Ермолович И. М. Игорь Михайлович, & Яновский В. П. (2010). Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3. 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationГребнева И. А. Ирина Андреевна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Ермолович И. М. Игорь Михайлович, and Яновский В. П. Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3. 2010, 2010.
MLA (9th ed.) CitationГребнева И. А. Ирина Андреевна, et al. Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3. 2010, 2010.