Гребнева И. А. Ирина Андреевна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Ермолович И. М. Игорь Михайлович, & Яновский В. П. (2010). Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3. 2010.
Chicagoスタイル(17版)引用形式Гребнева И. А. Ирина Андреевна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Ермолович И. М. Игорь Михайлович, , Яновский В. П. Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3. 2010, 2010.
MLA(9版)引用形式Гребнева И. А. Ирина Андреевна, et al. Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3. 2010, 2010.