Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана

Bibliographic Details
Parent link:	Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых.— 2012.— [С. 91-93]
Main Author:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Other Authors:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (727)
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2012
Series:	Нанотехнологии и пучково-плазменные технологии создания материалов с заданными свойствами
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ технологические особенности тонкие пленки диоксид титана технические характеристики
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C08/039.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234140

Internet