Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика.— 2012.— [С. 228-233]
Andre forfattere:	Горюнов А. Г. Алексей Германович, Курочкин В. А. Владимир Александрович, Чучалин И. П. Иван Петрович, Москалев В. А. Владилен Александрович
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2012
Serier:	Управление, вычислительная техника и информатика
Fag:	Siemens-реакторы поликристаллический кремний математическое моделирование источники переменный ток системы автоматического управления труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233498

Lignende værker

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2011)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Udgivet: (2009)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Udgivet: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Udgivet: (2009)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
af: Андреев А. А. Артем Андреевич
Udgivet: (2007)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
af: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Udgivet: (2013)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2009)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
af: Лапатин Л. Г.
Udgivet: (2009)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
af: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Udgivet: (2012)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Udgivet: (2014)

Способ получения поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
af: Цивинская Ю. С.
Udgivet: (2012)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Udgivet: (2020)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Udgivet: (2009)

Передача электрической энергии переменным током
af: Александров Г. Н. Георгий Николаевич
Udgivet: (Ленинград, Энергоатомиздат, 1990)

Генераторы, возбуждаемые переменным током: учебное пособие
af: Брускин Д. Э. Давид Эмануилович
Udgivet: (Москва, Высшая школа, 1974)

Установка для получения поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Udgivet: ()

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
af: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1992)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2010)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Udgivet: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
af: Карелин В. А. Владимир Александрович
Udgivet: (2005)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2010)

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Udgivet: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Непрерывная реконструкция завода и пополнение кадров - залог успеха в борьбе за рынок; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 305, вып. 3 : Проблемы и перспективы технологий атомной промышленности
af: Лях А. Г.
Udgivet: (2002)

Передача электрической энергии переменным током: учебное пособие для вузов
af: Сиуда И. П. Илья Петрович
Udgivet: (Новочеркасск, Изд-во Новочеркасского политехн. ин-та, 1980)

Т. 2; Передача энергии переменным током на дальние и сверхдальние расстояния
Udgivet: (2003)

Т. 3 : Передача энергии переменным и постоянным током высокого напряжения; Электрические системы
Udgivet: (1972)

Быстродействующие феррит-диодные элементы с питанием переменным током для ЦВМ
af: Граблев А. С.
Udgivet: (Москва, Вычислительный центр АН СССР, 1963)

Электрохимическое окисление никеля при поляризации переменным током; Химия и химическая технология в XXI веке
af: Жданова Н. В.
Udgivet: (2003 )

Т. 1; Передача энергии переменным током на дальние и сверхдальние расстояния
Udgivet: (2003)

Электропитание нагревательных элементов двигательной установки стабилизированным переменным током; Вестник СибГАУ; Т. 16, № 1
af: Мошняков А. А. Антон Алексеевич
Udgivet: (2015)

Сб. 7; Передача энергии постоянным и переменным током. Известия НИИ постоянного тока
Udgivet: (1961)