Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика.— 2012.— [С. 228-233] |
|---|---|
| Altri autori: | Горюнов А. Г. Алексей Германович, Курочкин В. А. Владимир Александрович, Чучалин И. П. Иван Петрович, Москалев В. А. Владилен Александрович |
| Riassunto: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2012
|
| Serie: | Управление, вычислительная техника и информатика |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233498 |
Documenti analoghi
Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2011)
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2011)
Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Pubblicazione: (2009)
Pubblicazione: (2009)
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Pubblicazione: (2009)
Pubblicazione: (2009)
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
di: Андреев А. А. Артем Андреевич
Pubblicazione: (2007)
di: Андреев А. А. Артем Андреевич
Pubblicazione: (2007)
Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2009)
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2009)
Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
di: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Pubblicazione: (2013)
di: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Pubblicazione: (2013)
Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
di: Лапатин Л. Г.
Pubblicazione: (2009)
di: Лапатин Л. Г.
Pubblicazione: (2009)
High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
di: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Pubblicazione: (2012)
di: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Pubblicazione: (2012)
Способ получения поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Pubblicazione: (2014)
Pubblicazione: (2014)
Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
di: Цивинская Ю. С.
Pubblicazione: (2012)
di: Цивинская Ю. С.
Pubblicazione: (2012)
Передача электрической энергии переменным током
di: Александров Г. Н. Георгий Николаевич
Pubblicazione: (Ленинград, Энергоатомиздат, 1990)
di: Александров Г. Н. Георгий Николаевич
Pubblicazione: (Ленинград, Энергоатомиздат, 1990)
Генераторы, возбуждаемые переменным током: учебное пособие
di: Брускин Д. Э. Давид Эмануилович
Pubblicazione: (Москва, Высшая школа, 1974)
di: Брускин Д. Э. Давид Эмануилович
Pubblicazione: (Москва, Высшая школа, 1974)
Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Pubblicazione: (2009)
Pubblicazione: (2009)
Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Pubblicazione: (2020)
Pubblicazione: (2020)
Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Установка для получения поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
di: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1992)
di: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1992)
Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2010)
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2010)
Способ получения поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()
Pubblicazione: ()
Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
di: Карелин В. А. Владимир Александрович
Pubblicazione: (2005)
di: Карелин В. А. Владимир Александрович
Pubblicazione: (2005)
Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2010)
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2010)
Передача электрической энергии переменным током: учебное пособие для вузов
di: Сиуда И. П. Илья Петрович
Pubblicazione: (Новочеркасск, Изд-во Новочеркасского политехн. ин-та, 1980)
di: Сиуда И. П. Илья Петрович
Pubblicazione: (Новочеркасск, Изд-во Новочеркасского политехн. ин-та, 1980)
Т. 2; Передача энергии переменным током на дальние и сверхдальние расстояния
Pubblicazione: (2003)
Pubblicazione: (2003)
Т. 3 : Передача энергии переменным и постоянным током высокого напряжения; Электрические системы
Pubblicazione: (1972)
Pubblicazione: (1972)
Быстродействующие феррит-диодные элементы с питанием переменным током для ЦВМ
di: Граблев А. С.
Pubblicazione: (Москва, Вычислительный центр АН СССР, 1963)
di: Граблев А. С.
Pubblicazione: (Москва, Вычислительный центр АН СССР, 1963)
Электрохимическое окисление никеля при поляризации переменным током; Химия и химическая технология в XXI веке
di: Жданова Н. В.
Pubblicazione: (2003 )
di: Жданова Н. В.
Pubblicazione: (2003 )
Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Pubblicazione: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
Pubblicazione: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
Т. 1; Передача энергии переменным током на дальние и сверхдальние расстояния
Pubblicazione: (2003)
Pubblicazione: (2003)
Непрерывная реконструкция завода и пополнение кадров - залог успеха в борьбе за рынок; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 305, вып. 3 : Проблемы и перспективы технологий атомной промышленности
di: Лях А. Г.
Pubblicazione: (2002)
di: Лях А. Г.
Pubblicazione: (2002)
Электропитание нагревательных элементов двигательной установки стабилизированным переменным током; Вестник СибГАУ; Т. 16, № 1
di: Мошняков А. А. Антон Алексеевич
Pubblicazione: (2015)
di: Мошняков А. А. Антон Алексеевич
Pubblicazione: (2015)
Сб. 7; Передача энергии постоянным и переменным током. Известия НИИ постоянного тока
Pubblicazione: (1961)
Pubblicazione: (1961)
Documenti analoghi
-
Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2011) -
Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Pubblicazione: (2009) -
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Pubblicazione: () -
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010) -
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)