Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика

Dettagli Bibliografici
Parent link:Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000-
Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика.— 2012.— [С. 228-233]
Altri autori: Горюнов А. Г. Алексей Германович, Курочкин В. А. Владимир Александрович, Чучалин И. П. Иван Петрович, Москалев В. А. Владилен Александрович
Riassunto:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника.
Lingua:russo
Pubblicazione: 2012
Serie:Управление, вычислительная техника и информатика
Soggetti:
Accesso online:http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233498

Documenti analoghi