Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика.— 2012.— [С. 228-233] |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. |
| Published: |
2012
|
| Series: | Управление, вычислительная техника и информатика |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233498 |