Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика.— 2012.— [С. 228-233] |
|---|---|
| Інші автори: | , , , |
| Резюме: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
2012
|
| Серія: | Управление, вычислительная техника и информатика |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233498 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 233498 | ||
| 005 | 20240202105207.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\254576 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\254575 | ||
| 090 | |a 233498 | ||
| 100 | |a 20130305d2012 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током |f А. Г. Горюнов [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (459 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Управление, вычислительная техника и информатика | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 233 (8 назв.)] | ||
| 330 | |a Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\254124 |x 1684-8519 |t Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика |v [С. 228-233] |d 2012 |p 261 с. | |
| 610 | 1 | |a Siemens-реакторы | |
| 610 | 1 | |a поликристаллический кремний | |
| 610 | 1 | |a математическое моделирование | |
| 610 | 1 | |a источники | |
| 610 | 1 | |a переменный ток | |
| 610 | 1 | |a системы автоматического управления | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Горюнов |b А. Г. |c специалист в области автоматического управления |c заведующий кафедрой Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1979- |g Алексей Германович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25726 |9 11628 | |
| 701 | 1 | |a Курочкин |b В. А. |c специалист в области автоматического управления |c инженер Томского политехнического университета, аспирант |f 1988- |g Владимир Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30347 | |
| 701 | 1 | |a Чучалин |b И. П. |c физик |c ректор Томского института автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР) с 1972 по 1981 гг. |c ректор Томского политехнического института (ТПИ) с 1981 по 1990 гг. |c выпускник ФТФ ТПИ 1951 г. |f 1925- |g Иван Петрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\11823 | |
| 701 | 1 | |a Москалев |b В. А. |c российский ученый |c электротехник |c профессор Томского политехнического университета |f 1927- |g Владилен Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\12401 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20220209 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf | |
| 942 | |c CF | ||