Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика

Bibliografische gegevens
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика.— 2012.— [С. 228-233]
Andere auteurs:	Горюнов А. Г. Алексей Германович, Курочкин В. А. Владимир Александрович, Чучалин И. П. Иван Петрович, Москалев В. А. Владилен Александрович
Samenvatting:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника.
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	2012
Reeks:	Управление, вычислительная техника и информатика
Onderwerpen:	Siemens-реакторы поликристаллический кремний математическое моделирование источники переменный ток системы автоматического управления труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online toegang:	http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf
Formaat:	Elektronisch Hoofdstuk
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233498

Omschrijving
Fysieke beschrijving:	1 файл (459 Кб)
Samenvatting:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника.

Gelijkaardige items