Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
| Parent link: | 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows.— 2004.— [P. 277-280] |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | , , , |
| Ամփոփում: | Title from the title-page. The operation of a high power density magnetron source in standard and self-sputtering modes are discussed. To understand main properties of the magnetron in self-sputtering mode the light emissive spectra was received and investigated for various conditions of magnetron operation. It is shown that the magnetron based on liquid-metal sputtering process has high rate deposition and able to operate under self-sputtering mode (without operating gas). Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ Text files |
| Լեզու: | անգլերեն |
| Հրապարակվել է: |
2004
|
| Շարք: | Modification of material properties |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/c/2004/C13/043.pdf |
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=232087 |
Նմանատիպ նյութեր
Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Հրապարակվել է: (2018)
Հրապարակվել է: (2018)
Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Հրապարակվել է: (2020)
Հրապարակվել է: (2020)
Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Հրապարակվել է: (2004)
Հրապարակվել է: (2004)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Հրապարակվել է: (Томск, 2017)
: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Հրապարակվել է: (Томск, 2017)
Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
: Abrahamyan A. S.
Հրապարակվել է: (2019)
: Abrahamyan A. S.
Հրապարակվել է: (2019)
Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Analysis of work and efficiency increase of of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
Հրապարակվել է: (2017)
Հրապարակվել է: (2017)
A Plasma System for Low-Emissive Coating Deposition; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Հրապարակվել է: (2004)
Հրապարակվել է: (2004)
Energy and substance transfer in magnetron sputtering systems with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 124
Հրապարակվել է: (2016)
Հրապարակվել է: (2016)
Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141
Հրապարակվել է: (2017)
Հրապարակվել է: (2017)
Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Магнетроны: пер. с англ.
: Фиск Д.
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1948)
: Фиск Д.
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1948)
Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Հրապարակվել է: (2008)
: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Հրապարակվել է: (2008)
Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.04
: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1979)
: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1979)
The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Հրապարակվել է: (2016)
: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Հրապարակվել է: (2016)
Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона; Современные техника и технологии
: Митюшкина В. Ю.
Հրապարակվել է: (2000)
: Митюшкина В. Ю.
Հրապարակվել է: (2000)
Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 160
: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Հրապարակվել է: (2018)
: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Հրապարակվել է: (2018)
Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Հրապարակվել է: (2022)
: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Հրապարակվել է: (2022)
Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 2; Особенности переноса заряда; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 1
Հրապարակվել է: (2006)
Հրապարակվել է: (2006)
PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
Հրապարակվել է: (2017)
Հրապարակվել է: (2017)
Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
Հրապարակվել է: (2016)
Հրապարակվել է: (2016)
Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
Հրապարակվել է: (2018)
Հրապարակվել է: (2018)
Magnetron plasma modification by sputtering copper target of electrospun fluoropolymer material to possess bacteriostatic properties; Materials Today: Proceedings; Vol. 22, Pt. 2 : 2nd International Conference on Nanomaterials and Biomaterials (ICNB 2018)
Հրապարակվել է: (2020)
Հրապարակվել է: (2020)
Langmuir probe study of reactive magnetron discharge plasma in a three-component gas atmosphere; Instruments and Experimental Techniques; Vol. 59, iss. 6
Հրապարակվել է: (2016)
Հրապարակվել է: (2016)
Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Հրապարակվել է: (2020)
: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Հրապարակվել է: (2020)
Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
: Жукова М. А.
Հրապարակվել է: (2007)
: Жукова М. А.
Հրապարակվել է: (2007)
Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Modification of the Ceramic Implant Surfaces from Zirconia by the Magnetron Sputtering of Different Calcium Phosphate Targets: A Comparative Study; Materials; Vol. 10, iss. 10
Հրապարակվել է: (2018)
Հրապարակվել է: (2018)
Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1988)
: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1988)
The properties of Cu films deposited by high rate magnetron sputtering from a liquid target; Vacuum; Vol. 169
Հրապարակվել է: (2019)
Հրապարակվել է: (2019)
Magnetron deposition of TCO films using ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Հրապարակվել է: (2015)
: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Հրապարակվել է: (2015)
Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец. 01.04.20
: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1988)
: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1988)
Emission properties of a plasma cathode based on a glow discharge for generating nanosecond electron beams; Technical Physics; Vol. 44, № 11
Հրապարակվել է: (1999)
Հրապարակվել է: (1999)
Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.09.04
: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1979)
: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1979)
Радиопередающие устройства сверхвысоких частот: [учебное пособие]
: Минаев М. И. Михаил Иванович
Հրապարակվել է: (Минск, Вышэйшая школа, 1978)
: Минаев М. И. Михаил Иванович
Հրապարակվել է: (Минск, Вышэйшая школа, 1978)
Вып. 62; Радиотехника
Հրապարակվել է: (1982)
Հրապարակվել է: (1982)
Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron; Resource-Efficient Technologies; No 3
Հրապարակվել է: (2018)
Հրապարակվել է: (2018)
Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 789 : Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation
Հրապարակվել է: (2017)
Հրապարակվել է: (2017)
Модификация элементов релятивистского магнетрона; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 323, № 2 : Математика и механика. Физика
: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Հրապարակվել է: (2013)
: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Հրապարակվել է: (2013)