Разработка ядерно-физических методов анализа поверхностных слоев полупроводниковых материалов и приборов
| Parent link: | Труды Пятого всесоюзного совещания по ускорителям заряженных частиц. Дубна, 5-7 октября 1976: в 2 т./ Научный совет АН СССР по проблемам ускорения заряженных частиц ; отв. ред. А. А. Васильев.— , 1978 Т. 2.— 1978.— С. 198-201 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , , , , |
| Published: |
1978
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=228148 |