Technological features of the dual magnetron sputtering system for reactive deposition of thin film coatings; Modern technique and technologies MTT' 2012

מידע ביבליוגרפי
Parent link:Modern technique and technologies MTT' 2012.— 2012.— [С. 181-182]
מחבר ראשי: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
מחבר תאגידי: Томский политехнический университет
מחברים אחרים: Yurjev Y. N. (научный руководитель)
סיכום:Заглавие с титульного листа
שפה:אנגלית
יצא לאור: 2012
סדרה:Section VIII: Modern Physical Methods in Science, Engineering and Medicine
נושאים:
גישה מקוונת:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2012/C2/ENG/eng_084.pdf
פורמט: אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=227964