Technological features of the dual magnetron sputtering system for reactive deposition of thin film coatings; Modern technique and technologies MTT' 2012

Dades bibliogràfiques
Parent link:Modern technique and technologies MTT' 2012.— 2012.— [С. 181-182]
Autor principal: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Autor corporatiu: Томский политехнический университет
Altres autors: Yurjev Y. N. (научный руководитель)
Sumari:Заглавие с титульного листа
Idioma:anglès
Publicat: 2012
Col·lecció:Section VIII: Modern Physical Methods in Science, Engineering and Medicine
Matèries:
Accés en línia:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2012/C2/ENG/eng_084.pdf
Format: Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=227964