|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
226608 |
| 005 |
20231031201211.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\246985
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\246984
|
| 090 |
|
|
|a 226608
|
| 100 |
|
|
|a 20121123d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Термообработка имплантированной нитридной керамики
|f Л. С. Бушнев [и др.]
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\224059
|t Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка
|o всесоюзная конференция
|o тезисы оригинальных докладов
|f Академия наук СССР (АН СССР), Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов; под ред. В. И. Зиненко
|v С. 161
|n [Б. и.]
|d 1987
|p 279 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Бушнев
|b Л. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кабышев
|b А. В.
|c специалист в области физики диэлектриков и поверхностных явлений
|c профессор Томского политехнического университета
|g Александр Васильевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27068
|
| 701 |
|
1 |
|a Немержицкий
|b А. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Лопатин
|b В. В.
|c электрофизик
|c доктор физико-математических наук, профессор Томского политехнического университета, заместитель директора по научной работе ИФВТ ТПУ
|f 1947-
|g Владимир Васильевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\20662
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121123
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121129
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
